[發明專利]一種用于芯片總劑量輻照試驗的探針臺

在審

• 申請號: 201410277330.5
• 申請日: 2014-06-19
• 公開（公告）號: CN104020327A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 顧吉;吳建偉;陳海波;陳嘉鵬;鄭良晨;徐海銘
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第五十八研究所
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 韓國勝;張海英

1.一種用于芯片總劑量輻照試驗的探針臺，包括探針臺體、顯微鏡、固定支架和顯示屏，其特征在于：所述顯微鏡和顯示屏固定在固定支架上，所述探針臺體單獨的放置在顯微鏡正下方的固定支架的底座上，所述探針臺體包括防振基臺、基臺立柱和承片臺，所述基臺立柱固定在防振基臺上，所述基臺立柱上固定有探針卡，所述用于固定芯片的承片臺設置在探針卡下方，所述承片臺下方依次連接有回轉平臺、垂直升降機構和水平移動機構，所述水平移動機構下端固定在防振基座上。

2.根據權利要求1所述的用于芯片總劑量輻照試驗的探針臺，其特征在于：所述探針卡通過四個角上設置的螺釘固定在基臺立柱上，所述探針卡下表面上固定有尖端向下的探針。

3.根據權利要求1所述的用于芯片總劑量輻照試驗的探針臺，其特征在于：所述待測的芯片固定在一塊基板上，并通過基板兩側設置的螺釘固定到承片臺中心上。

4.根據權利要求1所述的用于芯片總劑量輻照試驗的探針臺，其特征在于：所述承片臺通過螺釘固定在回轉平臺上，所述回轉平臺包括調節回轉平臺角度同時帶動調節承片臺上的芯片的角度的R軸調節旋鈕和鎖定回轉平臺角度的R軸鎖緊旋鈕，所述回轉平臺的轉動范圍為0°～360°，轉動精度為5′。

5.根據權利要求1所述的用于芯片總劑量輻照試驗的探針臺，其特征在于：所述回轉平臺通過螺釘固定在垂直升降機構上，所述垂直升降機構包括調節承片臺上的芯片高度的Z軸調節旋鈕和固定芯片高度的Z軸鎖緊旋鈕，所述垂直升降機構的調節范圍0～10mm，調節精度為0.01mm。

6.根據權利要求1所述的用于芯片總劑量輻照試驗的探針臺，其特征在于：所述垂直升降機構通過螺釘固定在水平移動機構上，所述水平移動機構包括X軸移動機構和Y軸移動機構，所述X軸移動機構包括調節承片臺上的芯片X軸位置的X軸調節旋鈕和固定芯片X軸位置的X軸鎖緊旋鈕，所述Y軸移動機構包括調節承片臺上的芯片Y軸位置的Y軸調節旋鈕和固定芯片Y軸位置的Y軸鎖緊旋鈕，所述X軸移動機構和Y軸移動機構的調節范圍均為0～12mm，調節精度均為0.01mm。

7.根據權利要求4至6任意項所述的用于芯片總劑量輻照試驗的探針臺，其特征在于：所述回轉平臺、垂直升降平臺、水平移動機構的X軸移動機構和Y軸移動機構均設置有復位彈簧。

8.根據權利要求1所述的用于芯片總劑量輻照試驗的探針臺，其特征在于：所述顯微鏡下端還固定設置有用于照明的環形LED燈。