[發(fā)明專利]局部區(qū)域形貌掃描的電化學(xué)檢測(cè)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410276983.1
• 申請(qǐng)日: 2014-06-19
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104062324B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-05-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王巍;許立坤;隋永強(qiáng);李相波;閆永貴
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七二五研究所
• 主分類號(hào): G01N27/02
• 分類號(hào): G01N27/02
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)11350
• 代理人: 蘇雪雪

1.一種電化學(xué)檢測(cè)裝置在局部地域形貌掃描中的應(yīng)用，其特征在于：所述電化學(xué)檢測(cè)裝置由雙恒電位儀、探針信號(hào)接收裝置、鎖相放大器、樣品信號(hào)采集器、電解槽調(diào)水平旋鈕、測(cè)試探針、樣品固定臺(tái)、參比電極、測(cè)試電解槽、電解槽上蓋、對(duì)電極構(gòu)成；

雙恒電位儀鏈接探針信號(hào)接收裝置、鎖相放大器、樣品信號(hào)采集器、測(cè)試探針、參比電極、對(duì)電極，樣品信號(hào)采集器擁有數(shù)據(jù)采集模塊，采集測(cè)試探針、參比電極、對(duì)電極相關(guān)電極和探針獲得的監(jiān)測(cè)信號(hào)，由鎖相放大器將測(cè)試信號(hào)放大、去噪聲，探針信號(hào)接收裝置將鎖相放大器測(cè)試的信號(hào)傳入雙恒電位儀進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和信息反饋，測(cè)試探針、參比電極、對(duì)電極組成三電極體系，測(cè)試過(guò)程中，測(cè)試探針、參比電極、對(duì)電極放入測(cè)試電解槽，電解槽上蓋蓋在電解槽上防止測(cè)試過(guò)程中測(cè)試體系擾動(dòng)，樣品固定臺(tái)固定要研究的測(cè)試樣品，計(jì)算機(jī)用于采集測(cè)試探針的信號(hào)；

所述探針信號(hào)接收裝置包括三維步進(jìn)電機(jī)和壓電陶瓷傳感器；

所述局部地域形狀掃描過(guò)程具體為，

第一步，將測(cè)試探針進(jìn)行預(yù)處理；

第二步，將測(cè)試樣品放入電解槽中固定，將測(cè)試平臺(tái)調(diào)水平，將測(cè)試探針固定在卡槽中，將測(cè)試探針、對(duì)電極、參比電極與雙恒電位儀接線；

第三步，設(shè)置雙恒電位儀參數(shù)；

第四步，通過(guò)控制三維步進(jìn)電機(jī)和壓電陶瓷傳感器，將測(cè)試探針移動(dòng)到測(cè)試區(qū)域，進(jìn)行測(cè)試；

第五步，將設(shè)置好測(cè)試參數(shù)的軟件運(yùn)行，將測(cè)試探針在X-Y平面內(nèi)依次采集數(shù)據(jù)，獲得局部區(qū)域形貌阻抗譜的實(shí)部Z_re、虛部-Z_im、模值|Z|、相位角-Phase的三維空間分布；

第六步，將測(cè)試數(shù)據(jù)依據(jù)測(cè)試樣品、電極、溶液體系的等效電路進(jìn)行擬合分析。

2.如權(quán)利要求1所述的電化學(xué)檢測(cè)裝置在局部地域形貌掃描中的應(yīng)用，其特征在于：所述參比電極為Ag/AgCl電極。

3.如權(quán)利要求1或2所述的電化學(xué)檢測(cè)裝置在局部地域形貌掃描中的應(yīng)用，其特征在于：所述雙恒電位儀的電流測(cè)試精度為0.1nA；電壓測(cè)試精度為0.001mV；最大輸出電壓為±30V；最大輸出電流為±2A。

4.如權(quán)利要求1或2所述的電化學(xué)檢測(cè)裝置在局部地域形貌掃描中的應(yīng)用，其特征在于：所述的壓電陶瓷傳感器在空間X、Y、Z方向上的最大移動(dòng)距離為100μm，最小移動(dòng)步長(zhǎng)距離100nm。

5.如權(quán)利要求1或2所述的電化學(xué)檢測(cè)裝置在局部地域形貌掃描中的應(yīng)用，其特征在于：所述測(cè)試探針為Pt純度>99.9％的鉑圓盤電極和Au純度>99.9％的金圓盤電極。