[發明專利]基于組合式刀具對陶瓷基板LED進行混合式切割的方法有效
| 申請號: | 201410273755.9 | 申請日: | 2014-06-19 |
| 公開(公告)號: | CN104051253B | 公開(公告)日: | 2017-01-18 |
| 發明(設計)人: | 何永泰;熊毅;李坤錐;喬翀;李恒彥;王躍飛 | 申請(專利權)人: | 鴻利智匯集團股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/304 | 分類號: | H01L21/304;H01L33/00 |
| 代理公司: | 廣州中浚雄杰知識產權代理有限責任公司44254 | 代理人: | 劉各慧 |
| 地址: | 510890 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 基于 組合式 刀具 陶瓷 led 進行 混合式 切割 方法 | ||
1.基于組合式刀具對陶瓷基板LED進行混合式切割的方法,其特征在于:組合式刀具包括主軸、主軸法蘭、二把以上的刀具、法蘭墊片、墊片及鎖緊裝置,主軸法蘭套在主軸上且與主軸為一體結構,鎖緊裝置鎖緊在主軸的一端,墊片套在主軸上且與鎖緊裝置接觸,刀具套在位于主軸法蘭與墊片之間的主軸上,相鄰刀具之間設有法蘭墊片,法蘭墊片的厚度與預切割方向的LED的邊長相同;其中,所有刀具均為同種型號的金屬基金剛石砂輪;
其切割的步驟為:
(1)將組合刀具安裝在機床的主軸上,根據LED的邊長選用法蘭墊片的厚度,若LED呈正方形,只需一個法蘭墊片,若LED呈長方形,則需在另一臺機床上使用另一個厚度的法蘭墊片安裝刀具;
(2)把已點膠的陶瓷基板粘在貼膜上,再貼在托盤上,然后固定托盤到工作臺上;
(3)調節工作臺的垂直位置,使得刀具一次走刀能完全切斷陶瓷基板;
(4)進行橫向切割,利用刀具對膠層和陶瓷基板同時進行混合切割,設定刀具的數量為n,刀具的厚度為h,LED的縱向尺寸為L,則每次橫向切割的切縫數為n,每進行一次橫向切割后,工作臺移動的距離為n×(h+L),直到橫向切割完成;
(5)若LED呈正方形,則轉入(6);若LED呈長方形,則取出托盤,安裝到另一臺機床的工作臺上,將工作臺旋轉90°,重復步驟(3)、(4);
(6)將工作臺旋轉90°,機床自動補償刀具的磨損量;
(7)進行縱向切割,利用前一刀具對膠層和陶瓷基板進行切割,利用后面的刀具對被切割的LED進行限位,設定LED的橫向尺寸為w,每進行一次縱向切割后,工作臺移動的距離為h+w,直到縱向切割完成;從而完成對陶瓷基板LED進行的混合式切割。
2.根據權利要求1所述的基于組合式刀具對陶瓷基板LED進行混合式切割的方法,其特征在于:法蘭墊片前端面上設有用于定位對應刀具的凸臺;法蘭墊片后端面上設有自主軸穿過的孔向外延伸的凹槽,凹槽以外的法蘭墊片端面壓緊對應的刀具;靠近刀具的墊片端面上設有自主軸穿過的孔向外延伸的凹槽,凹槽以外的墊片端面壓緊與其接觸的刀具;鎖緊裝置壓緊在墊片上。
3.根據權利要求1或2所述的基于組合式刀具對陶瓷基板LED進行混合式切割的方法,其特征在于:當前面的刀具和后面刀具的磨損超過規定值后,將前后刀具的位置進行互換。
4.根據權利要求1所述的基于組合式刀具對陶瓷基板LED進行混合式切割的方法,其特征在于:所述的鎖緊裝置為鎖緊螺母。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





