[發明專利]面板研磨裝置在審
| 申請號： | 201410273330.8 | 申請日： | 2014-06-18 |
| 公開（公告）號： | CN105437053A | 公開（公告）日： | 2016-03-30 |
| 發明（設計）人： | 崔磊;謝煥熏;黃成沛;卓家得 | 申請（專利權）人： | 上海和輝光電有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;B24B37/34;B24B55/06 |
| 代理公司： | 隆天知識產權代理有限公司 72003 | 代理人： | 王芝艷;鄒宗亮 |
| 地址： | 201500 上海市金山區*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 面板 研磨 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種面板研磨裝置，包括：研磨臺以及安裝在所述研磨臺上的研磨片所述研磨片包括多個相互之間間隔一定距離的固結磨料的突起；其特征在于，
所述研磨臺中設置有通水孔和通氣孔；所述研磨片上設置有通水孔和通氣孔；
所述研磨臺中的通水孔與所述研磨片上的通水孔對應，所述研磨臺中的通氣孔與所述研磨片上的通氣孔對應，工作時水和氣分別通過所述研磨臺和所述研磨片的通水孔和通氣孔噴出。
2.根據權利要求1所述的面板研磨裝置，其特征在于，所述研磨片上的所述通水孔和通氣孔設置在所述突起的間隔中。
3.根據權利要求1所述的面板研磨裝置，其特征在于，所述研磨片上的所述通水孔和通氣孔相鄰設置。
4.根據權利要求2所述的面板研磨裝置，其特征在于，還包括用于支承待研磨物的承載臺。
5.根據權利要求1所述的面板研磨裝置，其特征在于，所述研磨片的通氣孔的直徑在0.1～2mm范圍內。
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