[發明專利]濕制程系統

有效

• 申請號: 201410272981.5
• 申請日: 2014-06-18
• 公開（公告）號: CN105297014B
• 公開（公告）日: 2018-04-10
• 發明（設計）人: 李建光;劉以新;陳龍英;張岱輝;朱西祥
• 申請（專利權）人: 深圳市潔馳科技有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;H05K3/00;H01L21/67
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所44237
• 代理人: 張全文

1.濕制程系統，其特征在于：包括沿工件加工方向依序排布且在結構上相互優化設計整合的藥水段裝置、藥水回吸裝置及水洗裝置，

所述藥水段裝置包括用于對工件板面噴淋藥水并進行化學處理的藥水噴淋機構；

所述藥水回吸裝置包括回吸段機體、設于所述回吸段機體上且用于吸取工件上藥水的吸液刀、以及用于使所述吸液刀產生真空負壓吸力的射流器，所述射流器的導氣管與所述吸液刀可拆卸連接；

所述水洗裝置包括水洗段機體，所述水洗段機體內設有用于朝工件噴射洗水的水洗噴淋機構、以及用于供給洗水的臥式泵；所述水洗噴淋機構包括上噴管及下噴管，所述上噴管與所述下噴管上均設有噴嘴；所述上噴管及所述下噴管分別設置于工件輸送方向的上方和下方，所述臥式泵的出水口分別與所述上噴管及所述下噴管連通，進水口連通有容積改小的儲水槽，所述儲水槽與所述水洗段機體的下機體連接，所述臥式泵設于所述下機體中；

所述回吸段機體內設有用于輸送工件的輸送機構，所述輸送機構包括多根平行設置且垂直工件傳送方向的行轆、行轆枕，以及用于驅動所述行轆的傳動機構；所述行轆枕的上半部開設有間隔排列的第一U形槽，所述行轆架設于所述第一U形槽中；

所述行轆枕的下半部開設有第二U形槽；所述吸液刀包括上吸液刀及下吸液刀，所述行轆枕的上側設有用于緊固所述上吸液刀的第一緊固件及第二緊固件，所述上吸液刀套設于所述第一緊固件上，并支撐于所述第二緊固件中；所述下吸液刀設于所述第二U形槽中，所述第二U形槽中設有用于緊固所述下吸液刀的第三緊固件；

所述第一緊固件上開設有插槽，所述第二緊固件上開設有插孔，所述上吸液刀插設于所述插槽中，并貫穿于所述插孔中，所述上吸液刀可于所述插孔中上下振動。

2.如權利要求1所述的濕制程系統，其特征在于：所述上吸液刀及所述下吸液刀均垂直于工件傳送方向，且均設有多個吸液孔。

3.如權利要求1或2所述的濕制程系統，其特征在于：所述藥水回吸裝置還包括用于儲存藥水的儲液槽，所述儲液槽與所述射流器的出液口連通，所述回吸段機體內設有立式泵，所述立式泵的進水端與所述儲液槽連通，出水端與所述射流器的進液口連通。

4.如權利要求3所述的濕制程系統，其特征在于：所述藥水段裝置還包括藥水段機體、以及用于提供動力抽取藥水的立式電機，所述立式電機的進水管與所述儲液槽連通，出水管與所述藥水噴淋機構連通。

5.如權利要求1或2所述的濕制程系統，其特征在于：所述水洗段機體包括上機體及下機體，所述上機體與所述下機體通過一朝下傾斜設置的隔板隔開，所述水洗噴淋機構設于所述上機體中，所述臥式泵均設于所述下機體中。

6.如權利要求5所述的濕制程系統，其特征在于：所述儲水槽與所述水洗段機體一體成型，所述隔板沿液體流動的路徑向下朝所述儲水槽傾斜，與所述隔板最低端相接的所述水洗段機體側壁設有連通口與所述儲水槽相通。

7.如權利要求4所述的濕制程系統，其特征在于：所述藥水噴淋機構與所述立式電機的出水管的連接輸液管路上、所述立式泵出水端與所述射流器的射流管的連接輸液管路上、以及所述水洗噴淋機構與所述臥式泵的出水口的連接輸液管路上均分別設有過濾器。