[發明專利]一種修正雙波段測溫誤差的溫度測量方法及系統

有效

• 申請號: 201410272583.3
• 申請日: 2014-06-18
• 公開（公告）號: CN105333962B
• 公開（公告）日: 2018-06-22
• 發明（設計）人: 瀧口治久
• 申請（專利權）人: 中微半導體設備（上海）有限公司
• 主分類號: G01J5/52
• 分類號: G01J5/52
• 代理公司: 上海信好專利代理事務所(普通合伙) 31249
• 代理人: 張靜潔;包姝晴

1.一種修正雙波段測溫誤差的溫度測量方法，其特征在于，包含：

在校正階段，

A1、通過雙波段測溫的測溫儀Hs，來測算一個基準物體在兩個不同波長λ₁、λ₂下對應的輻射能量P_1s、P_2s及比值P_1s/P_2s；

A2、利用發射率檢測裝置檢測獲得基準物體表面在波長λ₁、λ₂下對應的發射率數值ε_1s、ε_2s，并計算獲得ln(ε_1s/ε_2s)；或者，利用基準測溫儀Ws獲得基準物體的實際溫度T_Ws計算獲得ln(ε_1s/ε_2s)；

A3、根據所述比值P_1s/P_2s計算獲得基準物體的雙波長溫度測量值T_dual-s：

A4、對基準物體進行多次A1-A3步驟的測量，并獲得多個包括T_dual-s與相應溫度下的ln(ε_1s/ε_2s)數值的數據組，得到表示ln(ε_1s/ε_2s)與1/T_dual-s之間關系的方程式；

在測量階段，

B1、通過雙波段測溫的測溫儀Hs，來測算一個被測物體在兩個波長λ₁、λ₂下對應的輻射能量P₁、P₂及比值P₁/P₂；

B2、根據所述比值P_1s/P_2s計算獲得被測物體的雙波長溫度測量值T_dual：

B3、將所述雙波長溫度測量值T_dual代入校正階段求得的方程式計算得到f(T_dual)，并計算獲得雙波長溫度修正值，根據所述雙波長溫度測量值T_dual和所述雙波長溫度修正值計算被測物體的實際溫度T：

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，

在校正階段的A2中，測量得到基準物體發射率ε_1s、ε_2s的過程，包含以波長為λ₁、λ₂的光線作為基準參考光源入射到基準物體表面，分別測量從基準物體表面反射的輻射值并計算反射率，以1減去該反射率得到相應的發射率ε_1s、ε_2s，進而計算ln(ε_1s/ε_2s)的數值。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，

在校正階段的A2中，測量得到基準物體的實際溫度T_Ws后，利用算式4或其等價形式來計算ln(ε_1s/ε_2s)的數值；

其中，T_1s、T_2s是基準物體在兩個波長λ₁、λ₂下對應的溫度，通過在算式5中代入基準物體的輻射能量P_1s、P_2s來求?。?/p>

其中，c₁為第一輻射系數，c₂為第二輻射系數。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，

對基準物體進行多次測量，在校正階段的步驟A4中，以橫坐標ln(ε_1s/ε_2s)、縱坐標1/T_dual-s，或者以橫坐標T_dual-s、縱坐標1/T_Ws-1/T_dual-s，繪制每次測量時得到的數據點；對數據點進行直線擬合，得到表示ln(ε_1s/ε_2s)與1/T_dual-s之間線性關系的方程式。