[發(fā)明專利]微構(gòu)件拉伸測試裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410271032.5
• 申請日: 2014-06-18
• 公開（公告）號: CN104007028A
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 車琳;王波;李國;丁飛;王石磊
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類號: G01N3/32
• 分類號: G01N3/32
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種微構(gòu)件拉伸測試裝置，其特征是：它包括精密驅(qū)動(dòng)單元（9）、微力傳感器（5）、直線光柵測量裝置、高精度電移臺、載物臺、力傳感器固定塊（4）、兩個(gè)固定件（17），所述的高精度電移臺包括左載物平臺（19）、右載物平臺（11）、絲杠螺母副（10）、L形底座（1）、支撐座（3）、步進(jìn)電機(jī)（2）、四個(gè)左滑塊（18）、四個(gè)右滑塊（12）、兩根導(dǎo)軌（14），所述的載物臺包括動(dòng)載物臺（8）和靜載物臺（6），所述的直線光柵測量裝置包括光柵尺讀數(shù)頭安裝架（13）、讀數(shù)頭（15）和光柵尺（16），

所述的L形底座（1）的長板水平設(shè)置，所述的兩根導(dǎo)軌（14）平行于L形底座（1）的長邊并固定在L形底座（1）的長板上；所述的左載物平臺（19）和右載物平臺（11）左右并列設(shè)置，所述的精密驅(qū)動(dòng)單元（9）固定在右載物平臺（11）上表面，所述的動(dòng)載物臺（8）與精密驅(qū)動(dòng)單元（9）的左側(cè)面固定連接，所述的靜載物臺（6）與動(dòng)載物臺（8）相鄰且相對應(yīng)設(shè)置，靜載物臺（6）與動(dòng)載物臺（8）的上表面對應(yīng)位置分別加工有一用于固定微構(gòu)件（7）的定位槽；所述的靜載物臺（6）、微力傳感器（5）及力傳感器固定塊（4）由右至左依次設(shè)置在左載物平臺（19）的上表面，且靜載物臺（6）與微力傳感器（5）固定連接，微力傳感器（5）與力傳感器固定塊（4）固定連接，力傳感器固定塊（4）與左載物平臺（19）的上表面固定連接，所述的光柵尺（16）安裝在精密驅(qū)動(dòng)單元（9）的前側(cè)面或后側(cè)面上，右載物平臺（11）上與光柵尺（16）位于同側(cè)的側(cè)面上固定有讀數(shù)頭安裝架（13），所述的度數(shù)頭（15）與光柵尺（16）相對設(shè)置并固定在讀數(shù)頭安裝架（13）上；所述的右載物平臺（11）的下表面與絲杠螺母副（10）的螺母固定連接，絲杠螺母副（10）的絲杠一端與支撐座（3）轉(zhuǎn)動(dòng)連接，絲杠螺母副（10）的絲杠另一端與L形底座（1）的短板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，支撐座（3）與L形底座（1）的長板固定連接，右載物平臺（11）的下表面與呈矩形設(shè)置的四個(gè)右滑塊（12）固定連接，四個(gè)右滑塊（12）與兩根導(dǎo)軌（14）滑動(dòng)連接，所述的步進(jìn)電機(jī)（2）固定于L形底座（1）的短板上，步進(jìn)電機(jī)（2）驅(qū)動(dòng)絲杠螺母副（10）運(yùn)動(dòng)；左載物平臺（19）的下表面與呈矩形設(shè)置的四個(gè)左滑塊（18）固定連接，四個(gè)左滑塊（18）設(shè)置在兩根導(dǎo)軌（14）上，設(shè)置在同一根導(dǎo)軌（14）上的兩個(gè)左滑塊（18）之間安裝有一與導(dǎo)軌（14）固定連接的固定件（17），工作中左載物平臺（19）相對導(dǎo)軌（14）固定不動(dòng)，右載物平臺（11）相對導(dǎo)軌（14）進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微構(gòu)件拉伸測試裝置，其特征是：所述的精密驅(qū)動(dòng)單元（9）包括柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)（9-1）、預(yù)緊螺釘（9-5）、壓電陶瓷（9-6）、兩個(gè)墊片（9-2）、兩個(gè)鋼珠（9-3）、三個(gè)安裝孔（9-4），所述的柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)（9-1）中部設(shè)有凹槽，所述的壓電陶瓷（9-6）設(shè)置于柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)（9-1）的凹槽內(nèi)，壓電陶瓷（9-6）兩端分別通過鋼珠（9-3）、墊片（9-2）與柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)（9-1）的凹槽內(nèi)壁相接觸，柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)（9-1）上設(shè)有三個(gè)用于與右載物平臺（11）固定連接的安裝孔（9-4），柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)（9-1）的右端面加工有螺紋孔，所述的預(yù)緊螺釘（9-5）與柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)（9-1）的螺紋孔螺紋連接，預(yù)緊螺釘（9-5）通過墊片（9-2）及鋼珠（9-3）預(yù)壓緊壓電陶瓷（9-6）。