[發明專利]一種阻隔水汽和防氧滲透的薄膜

無效

• 申請號: 201410270586.3
• 申請日: 2014-06-17
• 公開（公告）號: CN104070742A
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發明（設計）人: 徐剛;熊斌;孫耀明;史繼富;黃華凜
• 申請（專利權）人: 中國科學院廣州能源研究所
• 主分類號: B32B27/06
• 分類號: B32B27/06;B32B27/36;H01L51/52
• 代理公司: 廣州科粵專利商標代理有限公司 44001
• 代理人: 莫瑤江

1.一種阻隔水汽和防氧滲透的薄膜，其特征在于，該薄膜以聚酯類柔性襯底為基底層，在基底層上沉積有若干層丙烯酸酯層、若干層金屬納米層和若干層陶瓷阻隔層；所述若干層丙烯酸酯層、若干層金屬納米層和若干層陶瓷阻隔層為交錯層疊；所述丙烯酸酯層是通過閃蒸技術制備而成；所述金屬納米層是通過磁控濺射制備而成；所述陶瓷阻隔層也是通過磁控濺射制備而成。

2.如權利要求1所述的一種阻隔水汽和防氧滲透的薄膜，其特征在于，從基底層向上依次為第一丙烯酸酯層、第一金屬納米層，第一陶瓷阻隔層、第二金屬納米層、第二陶瓷阻隔層、第三金屬納米層、第二丙烯酸酯層。

3.如權利要求1或2所述的一種阻隔水汽和防氧滲透的薄膜，其特征在于，所述的基底層選自PET、PC、PMMA、PEN中的一種。

4.如權利要求1或2所述的一種阻隔水汽和防氧滲透的薄膜，其特征在于，所述的丙烯酸酯層的厚度為200-1000nm。

5.如權利要求1或2所述的一種阻隔水汽和防氧滲透的薄膜，其特征在于，所述的金屬納米層的金屬材料選自Ag、Cu、Cr、Ti、NiCr中的一種。

6.如權利要求1或2所述的一種阻隔水汽和防氧滲透的薄膜，其特征在于，所述的金屬納米層的厚度為2-6nm。

7.如權利要求1或2所述的一種阻隔水汽和防氧滲透的薄膜，其特征在于，所述的陶瓷阻隔層的材料選自氮化鋁、氮化硅、氧化鋁、氧化硅、氮氧硅中的一種。

8.如權利要求1或2所述的一種阻隔水汽和防氧滲透的薄膜，其特征在于，所述的陶瓷阻隔層的厚度為15-60nm。