[發明專利]微機電系統（MEMS）結構及設計結構

有效

• 申請號: 201410270234.8
• 申請日: 2014-06-17
• 公開（公告）號: CN104241034B
• 公開（公告）日: 2017-01-11
• 發明（設計）人: W·A·約翰遜;J·E·拉里;A·K·斯坦珀;K·M·沃森;余佩玲
• 申請（專利權）人: 國際商業機器公司
• 主分類號: H01H59/00
• 分類號: H01H59/00;B81B7/00
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所11256
• 代理人: 酆迅

1.一種方法，包括：

向微機電系統(MEMS)結構的致動器應用第一電壓極性，以將所述MEMS結構置于用于第一操作條件的預定狀態；以及

在后續操作條件期間向所述MEMS結構的所述致動器應用與所述第一電壓極性相反的第二電壓極性。

2.根據權利要求1所述的方法，其中所述第一操作條件是數據的傳輸。

3.根據權利要求1所述的方法，其中：

在設備的所述第一操作條件的整個時間段期間應用所述第一電壓極性；以及

在所述設備的所述后續操作條件的整個時間段期間應用所述第二電壓極性。

4.根據權利要求1所述的方法，其中所述第一電壓極性是在第一導通狀態期間所應用的致動電壓，并且所述第二電壓極性是在后續導通狀態期間所應用的致動電壓。

5.根據權利要求4所述的方法，其中所述第一導通狀態和所述后續導通狀態與相應的電話呼叫或數據傳輸相關聯。

6.根據權利要求1所述的方法，其中所述第二電壓極性使單極操作平衡。

7.根據權利要求1所述的方法，其中在導通狀態期間應用所述第一電壓極性，并且在關斷狀態期間應用所述第二電壓極性。

8.根據權利要求7所述的方法，還包括在后續導通狀態期間應用所述第一電壓極性，其中在所述第一操作條件和后續操作條件的整個時間段期間應用所述第一電壓極性，并且在所述第一操作條件已經完成之后，應用所述第二電壓極性以在關斷狀態期間基本上對MEMS電容器進行放電。

9.根據權利要求8所述的方法，其中所述應用所述第二電壓極性被應用持續預定時間量。

10.根據權利要求9所述的方法，其中所述預定時間量為約1分鐘。

11.根據權利要求1所述的方法，其中：

所述第一操作條件包括應用兩步電壓；以及

所述第二操作條件包括應用另一兩步電壓。

12.根據權利要求11所述的方法，其中：

所述第一操作條件的所述兩步電壓的第一電壓的絕對值大于第二電壓的絕對值；并且

所述第二電壓極性的絕對值大于所述第二操作條件的所述另一兩步電壓的絕對值。

13.一種方法，包括：

向微機電系統(MEMS)結構應用第一電壓極性；

在所述MEMS結構的關斷狀態或后續致動狀態期間向MEMS梁應用第二電壓極性，其中：

所述第一電壓極性與所述第二電壓極性相反；

所述第一電壓極性將所述MEMS結構置于數據傳輸模式；

在所述數據傳輸模式的結尾之后應用所述第二電壓極性；以及

所述第二電壓極性減小跨所述MEMS結構的電介質充電。

14.根據權利要求13所述的方法，其中在所述MEMS結構的關斷狀態中應用所述第二電壓極性。

15.根據權利要求13所述的方法，其中所述第二電壓極性使所述MEMS結構的單極操作平衡。

16.根據權利要求13所述的方法，其中在所述MEMS結構的關斷狀態期間應用所述第二電壓極性持續預定時間量。

17.根據權利要求16所述的方法，其中所述預定時間量為約1分鐘。

18.根據權利要求13所述的方法，其中：

所述第一電壓極性包括應用兩步電壓，其中所述兩步電壓的第一電壓的絕對值大于第二電壓的絕對值；并且

所述第二電壓極性包括應用另一兩步電壓，其中所述另一兩步電壓的第一電壓的絕對值大于第二電壓的絕對值。

19.根據權利要求13所述的方法，其中在致動的整個時間期間應用所述第一電壓極性，并且在所述MEMS結構的所述后續致動狀態的整個時間期間應用所述第二電壓極性。

20.一種在計算機輔助設計系統中用于生成MEMS結構的功能設計模型的方法，所述方法包括：

生成在導通狀態和關斷狀態之間可移動的MEMS梁的功能表示，所述MEMS梁包括在電介質材料內的第一組致動器和電容器極板；以及

生成第二組致動器和另一電容器極板的功能表示，所述第二組致動器和所述另一電容器極板與所述第一組致動器和所述電容器極板由絕緣體層分離，

其中所述表示還包括所述第一組致動器和所述第二組致動器中的至少一組被構造和配置為在導通狀態中以第一電壓極性提供電荷并且在所述MEMS結構處于后續關斷狀態之后以第二電壓極性提供電荷。