[發(fā)明專利]一種測量阻變存儲器狀態(tài)密度的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410270200.9
• 申請日: 2014-06-17
• 公開（公告）號: CN104051022A
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 盧年端;李泠;劉明;閆小兵;呂杭炳;孫鵬霄
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號: G11C29/08
• 分類號: G11C29/08
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 任巖

1.一種測量阻變存儲器狀態(tài)密度的方法，其特征在于，該方法包括：

實(shí)驗(yàn)測量阻變存儲器電流的馳豫效應(yīng)，得到該阻變存儲器實(shí)驗(yàn)測量的電流值；

根據(jù)該實(shí)驗(yàn)測量的電流值來選取該阻變存儲器的狀態(tài)密度寬度；

根據(jù)選取的該阻變存儲器的狀態(tài)密度寬度計(jì)算得到該阻變存儲器狀態(tài)密度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量阻變存儲器狀態(tài)密度的方法，其特征在于，所述實(shí)驗(yàn)測量阻變存儲器電流的馳豫效應(yīng)，得到該阻變存儲器實(shí)驗(yàn)測量的電流值，包括：

采用半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)對阻變存儲器電流的馳豫效應(yīng)進(jìn)行測量，得到該阻變存儲器實(shí)驗(yàn)測量的電流值，該實(shí)驗(yàn)測量的電流值是隨時間變化的。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量阻變存儲器狀態(tài)密度的方法，其特征在于，所述根據(jù)該實(shí)驗(yàn)測量的電流值來選取該阻變存儲器的狀態(tài)密度寬度，包括：

首先確定單位體積的狀態(tài)數(shù)量N_t，品格常數(shù)α^-1以及聲子振動的頻率v₀這三個參數(shù)，然后選取不同的狀態(tài)密度寬度σ代入公式(1)至公式(10)理論計(jì)算該阻變存儲器隨時間變化的電流值，當(dāng)理論計(jì)算的該阻變存儲器隨時間變化的電流值與所述實(shí)驗(yàn)測量的電流值的誤差小于5％時，選取此時的狀態(tài)密度寬度σ為該阻變存儲器的狀態(tài)密度寬度σ。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測量阻變存儲器狀態(tài)密度的方法，其特征在于，所述確定單位體積的狀態(tài)數(shù)量N_t，晶格常數(shù)α^-1以及聲子振動的頻率v₀這三個參數(shù)，N_t的范圍為1×10²²至1×10²⁹m³，晶格常數(shù)α^-1的范圍為0.5nm至5nm，聲子振動的頻率v₀范圍為1×10¹⁰s^-1至1×10¹³s^-1。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的測量阻變存儲器狀態(tài)密度的方法，其特征在于，所述選取不同的狀態(tài)密度寬度σ代入公式(1)至公式(10)理論計(jì)算該阻變存儲器隨時間變化的電流值的過程中，狀態(tài)密度寬度σ從1k_BT開始，步長為0.1k_BT，在1k_BT至6k_BT范圍內(nèi)選取。