[發明專利]一種用于激光器無遮擋鍍膜的鍍膜架裝置

有效

• 申請號: 201410270114.8
• 申請日: 2014-06-17
• 公開（公告）號: CN104037617B
• 公開（公告）日: 2016-11-16
• 發明（設計）人: 趙懿昊;王翠鸞;劉素平;馬驍宇
• 申請（專利權）人: 中國科學院半導體研究所
• 主分類號: H01S5/028
• 分類號: H01S5/028
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

技術領域

本發明屬于半導體技術領域，特別是一種半導體激光器腔面鍍膜用的鍍膜架。?

背景技術

邊發射半導體激光器前后兩端的解理面可以形成諧振腔，但是因為兩端解理面的反射率相同，兩端都有激光輸出，但通常情況下，只有一端的輸出光能被利用，不僅浪費了激光能量，而且會產生很多的廢熱和安全隱患。要實現單邊高功率輸出必須使用腔面鍍膜技術改變激光器前后腔面的反射率。邊發射半導體激光器bar條的腔面很薄很長，厚度只有100多微米，長度通常為10mm，為了提高鍍膜效率和可靠性，需要將激光器bar條彼此之間緊密接觸地放入鍍膜架中。而在排列激光器bar條的過程中不能損傷激光器腔面，而且要求所有的激光器條的腔面要在同一水平面上，以防止鍍膜時各個激光器條之間的相互遮擋。由于半導體的易斷裂特性，對鍍膜架裝置和裝鍍膜架技術的要求很高，常見的鍍膜架裝置通常采用分層結構，中間一層框架的開口比上下兩層框架的開口要大，使得寬度小于等于中間一層框架開口寬度的激光器條可以在鍍膜架中滑動，而下面一層框架供裝鍍膜架時找齊激光器條的腔面的水平。但其弊端是激光器條的兩端均被上下兩個框架遮住，鍍膜時激光器條的兩端完全沒有膜料鍍上，而且由于上下兩個框架在激光器條暴露出的鍍膜區域的兩側也有鍍膜陰影，會造成激光器腔面兩側的光學膜厚度不一致，這就意味著激光器腔面兩端的光學膜反射率與腔面中間不一致，只能將這些部分去除，這樣就減少了激光器的可利用面積，提高了激光器的成本。?

在實現本發明的過程中，發明人意識到現有技術存在的缺陷，發明了一種無遮擋鍍膜架，可以充分利用激光器芯片的面積，可以提高激光器bar條的數量，降低器件成本。?

發明內容

(一)要解決的技術問題?

現有的腔面鍍膜架對激光器腔面兩端有遮擋，使得激光器腔面兩端與中間光學膜厚度不一致，兩端部分只能扔掉，所以裝入鍍膜架的激光器bar條比實際需要的要長很多，導致制作激光器用芯片的利用率降低，器件成本增高。針對上述技術問題，本發明提出一種無遮擋的鍍膜架及其裝配附件，由于本發明的鍍膜架對激光器bar條的腔面無任何遮擋，且所有激光器bar條的腔面處在同一水平面，避免了激光器bar條兩端與中間光學膜厚度不一致現象的發生，同時也避免了不同激光器bar條之間的相互遮擋。可以根據需要來截取鍍膜用激光器bar條的長度，提高了芯片的利用率，降低了激光器的成本。?

(二)技術方案?

本發明提出了一種鍍膜架，其包括：?

主體，中間薄兩端厚，其中一端的端面中間開有兩個螺紋孔，另一端表面的上表面開有兩個通孔，中間為一具有開口的框架，所述框架的上表面和下表面各有一片金屬片相對延伸到矩形方口中間；?

裝配附件，其大小與主體相同，中間厚兩端薄，第一端上表面開有兩個螺紋孔，位置與所述主體的通孔相對應，同螺紋與所述主體固定；所述裝配附件中間為兩個高、低凸臺，所述兩個高、低凸臺的高度差不小于主體下表面金屬片的厚度，高凸臺中間開有一細溝；?

滑片，在所述主體的矩形框架方口間移動，且由所述兩個金屬片上下夾持。?

(三)有益效果?

本發明的鍍膜架存在以下幾個方面的有益效果：1、由于本發明的鍍膜架對激光器腔面不存在任何遮擋，提高芯片的利用率；2、本發明的鍍膜架可對任何小于鍍膜架矩形方口寬度的激光器進行無遮擋鍍膜；3、本發明的鍍膜架可用于不同腔長的激光器腔面鍍膜，提高了工藝的通用性。?

附圖說明

圖1是本發明中鍍膜架的分解立體示意圖；?

圖2是本發明中鍍膜架組裝后的立體示意圖；?

圖3是本發明中裝有bar條的鍍膜架使用示意圖；?

圖4是利用本發明鍍膜架對bar條鍍膜后的效果示意圖。?

具體實施方式

為使本發明的目的、技術方案和優點更加清楚明白，以下結合具體實施例，并參照附圖，對本發明作進一步的詳細說明。?

圖1示出了本發明提出的一種無遮擋的鍍膜架結構示意圖。如圖1所示，其包括：?

鍍膜架主體10，其為中間薄兩端厚的結構，其中間為一矩形框架，所述矩形框架中間有一矩形方口17，主體10的一端為頂端中間有兩個螺紋孔16的厚臺11，主體10的另一端為頂面中間有兩個通孔15的厚臺12，主體10中間的矩形框架的上表面和下表面各有一延伸到矩形方口的上、下金屬片13和14。其中，所述厚臺11和厚臺12通過斜面過渡到中間的矩形框架，且所述上、下金屬片13、14延伸到所述方口的中間。?