[發明專利]微機械濕度傳感器設備和相應的制造方法以及微機械傳感器裝置

有效

• 申請號: 201410267655.5
• 申請日: 2014-06-16
• 公開（公告）號: CN104237329B
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: J·弗蘭茨;U·席勒
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: G01N27/22
• 分類號: G01N27/22
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 郭毅

1.一種微機械濕度傳感器設備(FS；FS’；FS”；FS”’；FS””)，其具有：

襯底(1)，所述襯底具有前側(V)和背側(R)；

設置在所述襯底(1)的前側(V)的上方和/或下方的叉指印制導線裝置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)；

位于所述叉指印制導線裝置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)的間隙上方和所述間隙中的潮濕敏感的聚合物層(10)；

其中，所述潮濕敏感的聚合物層(10)在所述前側(V)的下方延伸到所述襯底(1)中,

其中，所述叉指印制導線裝置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)具有設置在所述襯底(1)的前側(V)上方的第一叉指印制導線裝置(L1，L2，L3)和與所述第一叉指印制導線裝置平行的、設置在所述襯底(1)的前側(V)下方的第二叉指印制導線裝置(L1a，L1b，L1c)，它們如此彼此重疊地設置，使得它們彼此電連接。

2.根據權利要求1所述的微機械濕度傳感器設備(FS；FS’；FS”；FS”’；FS””)，其中，所述潮濕敏感的聚合物層(10)延伸到所述襯底(1)中的位于所述叉指印制導線裝置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)的間隙中的溝槽(G1，G2)中。

3.根據權利要求1所述的微機械濕度傳感器設備(FS；FS’；FS”；FS”’；FS””)，其中，所述潮濕敏感的聚合物層(10)延伸到所述襯底(1)中的以所述潮濕敏感的聚合物層(10)填充的、位于所述叉指印制導線裝置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)下方的阱(W)中。

4.一種用于微機械濕度傳感器設備(FS；FS’；FS”；FS”’；FS””)的制造方法，所述制造方法具有以下步驟：

提供具有前側(V)和背側(R)的襯底(1)；

在所述襯底(1)的前側(V)的上方和/或下方構造叉指印制導線裝置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)；

在所述叉指印制導線裝置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)的間隙上方和所述間隙中構造潮濕敏感的聚合物層(10)，所述潮濕敏感的聚合物層在所述前側(V)的下方延伸到所述襯底(1)中；

其中，如此構造所述叉指印制導線裝置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)，使得所述叉指印制導線裝置具有設置在所述襯底(1)的前側(V)上方的第一叉指印制導線裝置(L1，L2，L3)和與所述第一叉指印制導線裝置平行的、設置在所述襯底(1)的前側(V)下方的第二叉指印制導線裝置(L1a，L1b，L1c)，它們如此彼此重疊地設置，使得它們彼此電連接。

5.根據權利要求4所述的用于微機械濕度傳感器設備(FS；FS’；FS”；FS”’；FS””)的制造方法，其中，在所述襯底(1)中在所述叉指印制導線裝置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)的間隙中構造溝槽(G1，G2)并且以所述潮濕敏感的聚合物層(10)填充所述溝槽，從而所述潮濕敏感的聚合物層(10)延伸到所述襯底(1)中的溝槽(G1，G2)中。

6.根據權利要求4所述的用于微機械濕度傳感器設備(FS；FS’；FS”；FS”’；FS””)的制造方法，其中，在所述襯底(1)中在所述叉指印制導線裝置(L1，L2，L3；L1，L2，L3，L1a，L1b，L1c)下方構造阱(W)并且以所述潮濕敏感的聚合物層(10)填充所述阱，從而所述潮濕敏感的聚合物層(10)延伸到所述襯底(1)中的阱(W)中。

7.根據以上權利要求4至6中任一項所述的用于微機械濕度傳感器設備(FS；FS’；FS”；FS”’；FS””)的制造方法，其中，在所述微機械濕度傳感器設備(FS；FS’；FS”；FS”’；FS””)旁，在所述襯底(1)中集成壓力傳感器設備(PS)。