[發明專利]一種基板檢測方法和裝置

有效

• 申請號: 201410264511.4
• 申請日: 2014-06-13
• 公開（公告）號: CN104062049A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發明（設計）人: 谷耀輝
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: G01L1/24
• 分類號: G01L1/24
• 代理公司: 北京同達信恒知識產權代理有限公司 11291
• 代理人: 黃志華

1.一種基板檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括：

光源；

起偏器，將接收到的光源發出的光轉化為線偏振光；

擴光器，對所述線偏振光進行擴展，使透過所述擴光器后投射到待測元件表面的線偏振光光束的橫截面面積變大；

束光器，對透過待測元件的線偏振光進行收縮，使透過所述束光器后線偏振光光束的橫截面面積變小；

分光器，將透過所述束光器后的線偏振光光束分成多個子光束，并將每一所述子光束投射到檢偏器中的一檢測區域；

檢偏器，檢測每一檢測區域中子光束的光強；并且，將在所述起偏器旋轉前的該檢測區域內的光強作為與該檢測區域相應的第一光強發送給控制器，將在垂直于光束出射方向的平面中起偏器旋轉后的該檢測區域內的光強作為與該檢測區域相應的第二光強發送給控制器；

控制器，接收所述檢偏器發送的與每一檢測區域相應的第一光強和第二光強，根據每一檢測區域中的第一光強和第二光強，計算得到所述待測元件的實際相位延遲量，根據所述實際相位延遲量和預設相位延遲量判斷該待測元件是否合格。

2.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述光源、起偏器、擴光器、束光器、分光器和檢偏器的中心軸位于同一直線上。

3.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述控制器還用于：

將所述相位延遲量與預設相位延遲量進行比較，當所述實際相位延遲量小于所述預設相位延遲量時，則判定所述待測元件合格并發出該待測元件合格的信號。

4.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述控制器還用于：

根據所述實際相位延遲量，計算得到該待測元件的實際應力變化量；并將所述實際應力變化量與預設應力變化量進行比較，當所述實際應力變化量小于所述預設應力變化量時，則判定所述待測元件合格并發出該待測元件合格的信號。

5.如權利要求3或4所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括用于接收所述控制器發送的待測元件合格的信號并進行顯示的顯示面板。

6.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括步進電機，所述步進電機接收控制器發出的旋轉控制信號，根據該旋轉控制信號帶動起偏器沿預設的方向旋轉預設的角度。

7.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述起偏器包括偏光片以及用于承載所述偏光片的框架；所述分光器為二維正交光柵。

8.如權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述檢偏器包括四個檢測區域，每一檢測區域中放置一偏光片，并且每兩個不相鄰的檢測區域中的偏光片的偏光軸相互垂直。

9.一種利用權利要求1～8任一所述的基板檢測裝置進行檢測的方法，其特征在于，所述方法包括：

將待測元件放置在起偏器與擴光器之間，開啟光源；

通過檢偏器檢測每一檢測區域中子光束的光強，并將每一檢測區域內的光強作為與該檢測區域相應的第一光強發送給控制器；

在垂直于光束出射方向的平面中控制起偏器進行旋轉；

旋轉起偏器后，通過檢偏器檢測每一檢測區域中子光束的光強，并將旋轉起偏器后的每一檢測區域內的光強作為與該檢測區域相應的第二光強發送給控制器；

根據所述每一檢測區域對應的第一光強和第二光強，通過控制器計算出所述待測元件的實際相位延遲量，并根據所述實際相位延遲量和預設相位延遲量判斷該待測元件是否合格。

10.如權利要求9所述的方法，其特征在于，當所述基板檢測裝置還包括步進電機時，所述方法還包括：

在檢偏器將每一檢測區域對應的第一光強發送給控制器后，控制器向所述步進電機發送旋轉控制信號，令所述步進電機根據該旋轉控制信號帶動起偏器沿預設的方向旋轉預設的角度。