[發(fā)明專利]一種基于多波長的數(shù)字全息三維形貌檢測裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410259126.0
• 申請日: 2014-06-11
• 公開（公告）號(hào): CN104006763A
• 公開（公告）日: 2014-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘鋒;肖文;陳宗暉;閆貝貝;楊洪建;趙晨曉;張旭紅
• 申請（專利權(quán)）人: 北京航空航天大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/24
• 分類號(hào): G01B11/24
• 代理公司: 北京永創(chuàng)新實(shí)專利事務(wù)所 11121
• 代理人: 趙文穎

1.一種基于多波長的數(shù)字全息三維形貌檢測裝置，包括激光光源、分光單元、反射鏡、第一光束準(zhǔn)直單元、光束偏轉(zhuǎn)器、第二光束準(zhǔn)直單元、消偏振分光棱鏡、五維調(diào)整安裝平臺(tái)、CMOS相機(jī)；

激光光源產(chǎn)生激光1a，激光1a輸入至分光單元，激光光源的中心波長范圍可調(diào)，為635nm-682nm的單縱模激光；

分光單元包括可調(diào)衰減器、A半波片、偏振分光棱鏡、B半波片；

激光1a經(jīng)可調(diào)衰減器、A半波片入射到偏振分光棱鏡上被分為兩束偏振方向正交的反射光和透射光，反射光經(jīng)過B半波片后，形成空間光2a，空間光2a進(jìn)入?yún)⒖脊饴罚干涔庑纬煽臻g光2b，進(jìn)入物光光路；

空間光2a輸出至反射鏡，得到反射光3a，輸出至第一準(zhǔn)直單元；

第一光束準(zhǔn)直單元和第二光束準(zhǔn)直單元具有相同結(jié)構(gòu)，第一準(zhǔn)直單元由空間濾波器和平凸透鏡構(gòu)成，空間濾波器用于對接收到的反射光3a進(jìn)行擴(kuò)束處理后，照射至平凸透鏡上，經(jīng)平凸透鏡后形成平行光4a輸出至光束偏轉(zhuǎn)器；

第二準(zhǔn)直單元中，空間濾波器用于對接收到的透射光2b進(jìn)行擴(kuò)束處理后照射至平凸透鏡上，經(jīng)平凸透鏡后形成平行光6a輸出至消偏振分光棱鏡；

光束偏轉(zhuǎn)器用于改變參考光的入射角度，輸出平行參考光5a；

消偏振分光棱鏡將平行參考光5a和物光8a合成一束光，得到光束7b；并且，消偏振分光棱鏡接收平行光6a，得到與待測目標(biāo)表面一致平行照明光7a，直接照射至待測目標(biāo)表面，得到物光8a；

五維調(diào)整安裝平臺(tái)包括三維平移臺(tái)和二維旋轉(zhuǎn)臺(tái)，通過三維平移臺(tái)和二維旋轉(zhuǎn)臺(tái)實(shí)現(xiàn)被光測目標(biāo)的二維姿態(tài)調(diào)整及被側(cè)面的旋轉(zhuǎn)對準(zhǔn)，通過全息圖指示調(diào)節(jié)待測目標(biāo)使目標(biāo)位于全息圖中央位置；

CMOS相機(jī)用于捕獲記錄數(shù)字全息圖。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多波長的數(shù)字全息三維形貌檢測裝置，所述的A半波片進(jìn)行旋轉(zhuǎn)調(diào)整后，能夠改變空間光2a與空間光2b之間的光強(qiáng)比，進(jìn)而改變平行參考光5a和物光7a的光強(qiáng)比，實(shí)現(xiàn)全息圖條紋對比度的調(diào)節(jié)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多波長的數(shù)字全息三維形貌檢測裝置，所述的B半波片進(jìn)行旋轉(zhuǎn)調(diào)整后，能夠保證空間光2a與空間光2b的偏振方向一致。