[發(fā)明專利]晶片轉(zhuǎn)置系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410256908.9
• 申請(qǐng)日: 2014-06-10
• 公開（公告）號(hào): CN105336651B
• 公開（公告）日: 2018-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱厚華;胡德明;林偉旺;高宏凱
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北大方正集團(tuán)有限公司;深圳方正微電子有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11291
• 代理人: 黃志華

1.一種晶片轉(zhuǎn)置系統(tǒng)，用于將晶片在片盒和載片晶舟之間轉(zhuǎn)置，其特征在于，包括：

主架；

用于放置多個(gè)晶片的周轉(zhuǎn)裝置，其與所述主架固定；

升降裝置，其與所述主架活動(dòng)連接；

所述升降裝置與所述周轉(zhuǎn)裝置相配合，將片盒或載片晶舟內(nèi)的多個(gè)晶片上升放置于所述周轉(zhuǎn)裝置內(nèi)，再將放置于所述周轉(zhuǎn)裝置內(nèi)的多個(gè)晶片下降放置于所述載片晶舟或片盒內(nèi)；

所述周轉(zhuǎn)裝置包括第一周轉(zhuǎn)組件，其包括兩個(gè)第一夾持手臂；

每個(gè)所述第一夾持手臂具有多個(gè)等間距設(shè)置的第一夾片，每個(gè)所述第一夾片具有第一夾槽，所述第一夾片和形成在其上的第一夾槽與水平面垂直；

所述兩個(gè)第一夾持手臂的第一夾槽的槽口相對(duì)設(shè)置且之間的距離可調(diào)，所述兩個(gè)第一夾持手臂的第一夾槽可同時(shí)閉合和張開；

所述兩個(gè)第一夾持手臂可沿各自第一夾片的排列方向同步移動(dòng)；

所述周轉(zhuǎn)裝置還包括位于所述第一周轉(zhuǎn)組件下方的第二周轉(zhuǎn)組件，其包括兩個(gè)第二夾持手臂；

每個(gè)所述第二夾持手臂具有多個(gè)等間距設(shè)置的第二夾片，每個(gè)所述第二夾片具有第二夾槽，所述第二夾片和形成在其上的第二夾槽與水平面垂直；

所述兩個(gè)第二夾持手臂的第二夾槽的槽口相對(duì)設(shè)置且之間的距離可調(diào)，所述兩個(gè)第二夾持手臂的第二夾槽可同時(shí)閉合和張開。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片轉(zhuǎn)置系統(tǒng)，其特征在于，所述升降裝置包括兩個(gè)可同步上升和下降的升降手臂；

每個(gè)所述升降手臂具有向上伸出的多個(gè)等間距的梳元件，所述梳元件之間形成容納晶片的容納槽；

兩個(gè)升降手臂的容納槽的排列方向，數(shù)量和密度相同。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶片轉(zhuǎn)置系統(tǒng)，其特征在于，所述每個(gè)第一夾持手臂的第一夾槽與所述升降手臂的容納槽的數(shù)量相同，排列方向一致且密度相同。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶片轉(zhuǎn)置系統(tǒng)，其特征在于，所述每個(gè)第二夾持手臂的第二夾槽與所述升降手臂的容納槽的數(shù)量相同，排列方向一致且密度相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶片轉(zhuǎn)置系統(tǒng)，其特征在于，兩個(gè)升降手臂的容納槽的數(shù)量和密度與片盒的槽的數(shù)量和密度相同。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶片轉(zhuǎn)置系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

用于放置片盒和載片晶舟水平基臺(tái)，其與所述主架固定；所述水平基臺(tái)具有升降用開口，所述升降手臂可穿過所述升降用開口升降。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶片轉(zhuǎn)置系統(tǒng)，其特征在于，還包括：

固定盤，其可在所述水平基臺(tái)上滑動(dòng)至所述周轉(zhuǎn)裝置下方且所述固定盤的上表面用于固定所述載片晶舟；

所述升降手臂可穿過所述水平基臺(tái)的升降用開口與所述固定盤的下表面固定。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶片轉(zhuǎn)置系統(tǒng)，其特征在于，所述第一周轉(zhuǎn)組件還包括第一基座和第二基座；

一個(gè)所述第一夾持手臂與所述第一基座活動(dòng)連接，另一個(gè)所述第一夾持手臂與所述第二基座活動(dòng)連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶片轉(zhuǎn)置系統(tǒng)，其特征在于，所述第二周轉(zhuǎn)組件還包括第三基座和第四基座；

一個(gè)所述第二夾持手臂與所述第三基座活動(dòng)連接，另一個(gè)所述第二夾持手臂與所述第四基座活動(dòng)連接。