[發明專利]一種電熱管氣相沉積方法

有效

• 申請號: 201410256544.4
• 申請日: 2014-06-10
• 公開（公告）號: CN104071987A
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發明（設計）人: 施吉承;衛正強
• 申請（專利權）人: 長興宏能電熱膜元件廠
• 主分類號: C03C17/00
• 分類號: C03C17/00
• 代理公司: 杭州華鼎知識產權代理事務所(普通合伙) 33217
• 代理人: 秦曉剛

技術領域

本發明涉及一種電熱管氣相沉積方法。

技術背景

電熱膜溶液氣壓加壓成混合霧氣采用氣相沉積技術噴向高溫爐內的石英玻璃管，使石英玻璃管均勻煙附混合霧氣形成電熱膜管。

現有的的電熱管氣相沉積設備大多采用人工操作，生產效率低下，人工成本較高，而且高溫揮發的氣體不利于工人的健康。

發明內容

本發明所要解決的技術問題就是提供一種電熱管氣相沉積方法，使石英玻璃管表面的電熱膜溶液氣相沉積生產效率更高，成本更低。

為解決上述技術問題，本發明采用如下技術方案：

一種電熱管氣相沉積方法，首先，將高溫爐的加熱腔的溫度加熱至700℃～900℃，將石英玻璃管分別套接于固定桿上，并在固定桿頭端套接耐熱橡膠帽防止石英玻璃管從固定桿上滑出；

其次，推動電機將轉筒推入高溫爐的加熱腔內，啟動電機使石英玻璃管繞轉筒軸心旋轉，之后開啟高壓噴槍的開關和高壓氣泵開關，然后啟動控制曲柄滑塊機構的電動機，加熱時間為15min；

最后，加熱完成后，依次關閉高壓噴槍開關、控制曲柄滑塊機構的電動機以及電機，拉動電機將轉筒拉入高溫爐，取下石英玻璃管轉移至冷卻工位。

優選的，所述曲柄滑塊機構包括滑塊，所述滑塊上設有兩塊彈性片，所述高壓噴槍底座嵌入兩塊彈性片之間的間隙中。

優選的，所述高溫爐上端設有貫通高溫爐加熱腔的出氣管，所述出氣管與高溫爐的連接端設有離心風機。

優選的，所述高壓噴槍與高壓氣泵之間的軟管上設有氣壓表。

本發明采用上述技術方案，高壓噴槍通過曲柄滑塊機構驅動使噴霧口在缺口內做直線往復運動，從而使噴霧口噴出的霧化電熱膜溶液均勻的噴灑至高溫爐加熱腔內，石英玻璃管固定于固定桿上通過回轉機構旋轉，從而使高溫爐內的霧化電熱膜溶液經高溫氣相沉積均勻的附著在石英玻璃管表面形成電熱膜管。本發明取代了人工操作握持高壓噴槍以及轉動旋轉石英玻璃管，具有更高的生產效率，更低的成本，而且能夠避免工人因貼近高溫爐工作而吸入有毒揮發氣體的危險。

附圖說明

以下結合附圖和具體實施方式對本發明進行進一步描述：

圖1是本發明中電熱管氣相沉積裝置的結構示意圖；

圖2是圖1的左視圖；

圖3是本發明中轉筒的結構示意圖；

圖4是本發明中滑塊的結構示意圖。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明的具體實施方式作詳細說明。

如圖1和圖2所示，本發明電熱管氣相沉積裝置包括高溫爐1，所述高溫爐的前側設有回轉機構2，所述回轉機構包括轉筒201、連接轉筒的轉軸202以及連接轉軸的電機203，所述高溫爐的前側面設有通孔101，所述轉筒穿過通孔伸入高溫爐加熱腔中，所述轉筒包括筒體201a和設置于筒體端面的若干根固定桿201b，所述固定桿上穿設石英玻璃管，所述高溫爐左側設有曲柄滑塊機構3，所述曲柄滑塊機構連接高壓噴槍4，所述高壓噴槍上的進液口通過軟管連接儲液瓶5，所述高壓噴槍上的進氣口通過軟管連接高壓氣泵6，所述高溫爐的左側面上設有缺口102，所述高壓噴槍的噴霧口穿過缺口伸入高溫爐加熱腔中且曲柄滑塊機構驅動高壓噴槍使噴霧口在缺口內做直線往復運動。

所述電機203固定于支桿204上端，所述支桿下端滑動連接于滑軌205上。通過支桿204與滑軌205的滑動連接，進行石英玻璃管的裝料和卸料，操作方便。

所述高溫爐1上端設有貫通高溫爐加熱腔的出氣管104，所述出氣管與高溫爐的連接端設有離心風機104a。所述離心風機104a將高溫爐加熱腔內的有害氣體抽離并通過出氣管104排放至氣體處理池進行凈化處理。所述高溫爐1底部設有若干塊加熱體103對加熱腔進行加熱。

所述高壓噴槍4與高壓氣泵6之間的軟管上設有氣壓表601，便于觀察和調試氣壓大小。

如圖3所示，所述固定桿201b周向分布于筒體201a的端面且固定桿的頭端設有耐熱橡膠帽，防止石英玻璃管從固定桿上滑出。

如圖4所示，所述曲柄滑塊機構3包括滑塊301，所述滑塊上設有兩塊彈性片301a，所述高壓噴槍4底座嵌入兩塊彈性片之間的間隙中。

本發明的電熱管氣相沉積方法為：

首先，將高溫爐1的加熱腔的溫度加熱至700℃～900℃，將石英玻璃管分別套接于固定桿201b上，并在固定桿頭端套接耐熱橡膠帽防止石英玻璃管從固定桿上滑出；