[發(fā)明專利]一種硅鋁復合拋光液的制作方法

有效

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• 申請日: 2014-06-11
• 公開（公告）號: CN104046245A
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發(fā)明（設計）人: 于長江;王兆敏;王猛;郝麗萍
• 申請（專利權）人: 泰安麥豐新材料科技有限公司
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02
• 代理公司: 廣州市紅荔專利代理有限公司 44214
• 代理人: 張文

技術領域

????本發(fā)明涉及新材料加工領域，特別是涉及一種適合于藍寶石襯底和窗口片的化學機械拋光用的硅鋁復合拋光液。?

背景技術

為了提高藍寶石化學機械拋光(CMP)效果,科技人員對其拋光工藝進行了研究：采用SiO₂磨料對藍寶石襯底片進行拋光,分析了拋光時的溫度、pH條件、磨料粒徑及濃度,結果表明,采用80-100?nm大粒徑、高濃度的SiO₂磨料,能保證良好的表面狀態(tài)。目前LED行業(yè)和藍寶石手機屏幕的大力推廣，行業(yè)內對拋光速率的要求較高，以前4小時要去除1.5-2.0um，目前每小時要去除2.5-3.0um,甚至更快。?

發(fā)明內容

本發(fā)明主要解決的技術問題是提供一種硅鋁復合拋光液的制作方法，可以得到一種具有較高穩(wěn)定性的拋光液，既能使加工件達到一定的表面狀態(tài)，又能提供更高的拋光速率。?

為解決上述技術問題，本發(fā)明采用的一個技術方案是：提供一種硅鋁復合拋光液的制作方法，包括如下步驟：?

一、將80-100nm的大粒徑硅溶膠按照重量份800-820份，加入黏度調節(jié)劑5-10份和去離子水150-180份；

二、將步驟一中的混合物整到黏度在2-5厘泊之間；

三、按照重量份加入pH調節(jié)劑2-4份，拋光加速助劑5-10份，得到二氧化硅含量30%的拋光液；

四、將調制好的二氧化硅拋光液按照重量份（9-19）：1與100-200nm的氧化鋁拋光液混合，攪拌均勻，得到用于藍寶石拋光的硅鋁復合拋光液。

優(yōu)選的，所述大粒徑硅溶膠中二氧化硅的含量為40%。。?

優(yōu)選的，所述黏度調節(jié)劑為表面活性劑和多元醇的混合物。?

優(yōu)選的，所述pH調節(jié)劑主要是乙醇胺和三乙醇胺按照重量比4：1配的。?

優(yōu)選的，所述拋光加速助劑由一種強堿和一種強酸弱堿鹽按照比例配制而成。?

優(yōu)選的，所述拋光加速助劑的PH值在8.0-9.0之間。?

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明的硅鋁復合拋光液，可用于透鏡、平板玻璃、表殼、顯示屏、精密五金等的拋光，特別適用于藍寶石襯底和窗口片的化學機械拋光；增加了拋光加速助劑，使得在拋光過程中，拋光液一直能夠保持穩(wěn)定的pH值，也就是與氧化鋁玻璃材質保持較高的化學作用；本發(fā)明不僅可以達到一定的表面狀態(tài)，還能夠提高拋光速率，單位工作效率顯著提高。?

具體實施方式

下面對本發(fā)明的較佳實施例進行詳細闡述，以使本發(fā)明的優(yōu)點和特征能更易于被本領域技術人員理解，從而對本發(fā)明的保護范圍做出更為清楚明確的界定。?

發(fā)明實施例包括：?

一種硅鋁復合拋光液的制作方法，包括如下步驟：

一、將80-100nm的大粒徑硅溶膠按照重量份800-820份，加入黏度調節(jié)劑5-10份和去離子水150-180份；

二、將步驟一中的混合物調整到黏度在2-5厘泊之間；

三、按照重量份加入pH調節(jié)劑2-4份，拋光加速助劑5-10份，得到二氧化硅含量30%的拋光液；

四、將調制好的二氧化硅拋光液按照重量份（9-19）：1與100-200nm的氧化鋁拋光液混合，攪拌均勻，得到用于藍寶石拋光的硅鋁復合拋光液。

其中，所述大粒徑硅溶膠中二氧化硅的含量為40%；所述黏度調節(jié)劑為丙三醇、聚乙二醇、正丁醇的混合物；所述pH調節(jié)劑主要是乙醇胺和三乙醇胺按照重量比4：1配的；所述拋光加速助劑由氫氧化鈉和氯化鋁，氫氧化鉀和氯化鋁，氫氧化鉀和磷酸二氫鉀等按照比例配制而成，PH值在8.0-9.0之間。?

實施方式：由二氧化硅拋光液，大粒徑硅溶膠、黏度調節(jié)劑，拋光加速助劑，?pH調節(jié)劑和去離子水配制而成的，具體配比如下：?

硅溶膠（80-100nm，40%），800-820份；

黏度調節(jié)劑：5-10份

去離子水：150-180份

拋光加速助劑：5-10份

pH調節(jié)劑：2-4份

將上述調制的黏度2-5厘泊的二氧化硅拋光液與100-200nm的氧化鋁拋光液按照重量份（9-19）：1復配，得到硅鋁復合拋光液。

實施例1：?

二氧化硅拋光液配制：

硅溶膠（80-100nm，40%），800份；

黏度調節(jié)劑：9份

去離子水：180份

拋光加速助劑：8份

pH調節(jié)劑：3份