[發明專利]燒結裝置、燒結體的制造方法和靶材

有效

• 申請號: 201410252677.4
• 申請日: 2014-06-09
• 公開（公告）號: CN104233203B
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 足立研
• 申請（專利權）人: 索尼半導體解決方案公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C04B35/622
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司 11290
• 代理人: 梁興龍;曹正建

1.一種燒結裝置，包括：

設置在大氣中的非可動部；

可動部，所述可動部具有能夠收容處理物的模具，并且包括所述模具在內的所述可動部相對于所述非可動部可拆卸地裝載；和

覆蓋部件，所述覆蓋部件以大致密閉狀態包圍裝載在所述非可動部上的所述可動部，并且能夠在以大致密閉狀態包圍包括所述模具在內的所述可動部的狀態下使包括所述模具在內的所述可動部和所述覆蓋部件一起與所述非可動部分離。

2.根據權利要求1所述的燒結裝置，其中所述可動部具有：

具有所述模具的主體；和

其上承載所述主體的支撐臺。

3.根據權利要求2所述的燒結裝置，其中所述覆蓋部件通過與所述主體的頂面的面接觸而懸吊支撐，并且在所述覆蓋部件和所述支撐臺之間設置能夠通氣的間隙。

4.根據權利要求3所述的燒結裝置，其中所述主體的頂面或所述覆蓋部件具有臺階，并且所述覆蓋部件相對于所述主體的頂面的相對位置關系由所述臺階限定。

5.根據權利要求2所述的燒結裝置，其中所述覆蓋部件通過與所述支撐臺的面接觸而被支撐，并且在所述覆蓋部件和所述主體的側面之間設置能夠通氣的間隙。

6.根據權利要求2所述的燒結裝置，其中所述覆蓋部件具有：

通過與所述支撐臺的面接觸而被支撐的下部覆蓋部件；和

通過與所述主體的頂面的面接觸而懸吊支撐的上部覆蓋部件，其中

在所述下部覆蓋部件和所述上部覆蓋部件之間設置能夠通氣的間隙。

7.根據權利要求1所述的燒結裝置，其中所述覆蓋部件由石英玻璃構成。

8.根據權利要求1所述的燒結裝置，其中所述覆蓋部件由陶瓷材料構成，并且在側面具有溫度測量用開口部。

9.根據權利要求6所述的燒結裝置，其中所述上部覆蓋部件由陶瓷材料構成，并且所述下部覆蓋部件由石英玻璃構成。

10.根據權利要求1所述的燒結裝置，其中所述覆蓋部件具有通孔，并且氣體導入管插入所述通孔中。

11.根據權利要求10所述的燒結裝置，其中所述覆蓋部件具有：

與所述氣體導入管結合且包圍所述可動部的具有所述模具的主體的氣體擴散室；和

設置在所述氣體擴散室中的氣體吹出口。

12.根據權利要求1所述的燒結裝置，其中所述模具具有從外表面朝向內表面延伸的孔。

13.根據權利要求12所述的燒結裝置，其中當所述處理物放置在所述模具中時，所述孔在所述模具的高度方向上設置在與所述處理物的放置位置不同的位置。

14.根據權利要求1所述的燒結裝置，其中所述非可動部具有：

對所述模具內的處理物加壓的加壓件；和

對所述模具內的處理物加熱的加熱部。

15.根據權利要求14所述的燒結裝置，其中所述加熱部具有對所述模具的外表面進行感應加熱的高頻感應線圈。

16.一種燒結體的制造方法，所述方法包括：

在設置于大氣中的非可動部上裝載具有收容處理物的模具的可動部；

利用覆蓋部件以大致密閉狀態包圍所述可動部；

在由所述覆蓋部件以大致密閉狀態包圍所述可動部的狀態下對所述模具內的處理物加壓和加熱；以及

在對所述模具內的處理物加壓和加熱后，在由所述覆蓋部件以大致密閉狀態包圍包括所述模具在內的所述可動部的狀態下使包括所述模具在內的所述可動部和所述覆蓋部件一起與所述非可動部分離。