[發(fā)明專利]一種大面積平板式PECVD設(shè)備反應(yīng)腔壓力的控制裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410252214.8
• 申請(qǐng)日: 2014-06-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104032283A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉良玉;陳暉;禹慶榮;楊彬;蘇衛(wèi)中
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十八研究所
• 主分類號(hào): C23C16/52
• 分類號(hào): C23C16/52
• 代理公司: 長(zhǎng)沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 43113
• 代理人: 馬強(qiáng)

1.一種大面積平板式PECVD設(shè)備反應(yīng)腔壓力的控制裝置，包括反應(yīng)腔體（7），其特征在于，所述反應(yīng)腔體（7）入口端與送氣系統(tǒng)連通，所述反應(yīng)腔體（7）出口端通過(guò)氣路管道（9）與真空泵（1）連通，所述反應(yīng)腔體（7）與所述真空泵（1）之間的氣路管道（9）上安裝有真空蝶閥（2）；所述真空蝶閥（2）、反應(yīng)腔體（7）之間的氣路管道（9）與微調(diào)氣路（10）連通；所述的微調(diào)氣路（10）包括質(zhì)量流量控制器（4）和與所述質(zhì)量流量控制器（4）氣路接口連通的管道；所述的反應(yīng)腔體（7）出口端氣路管道（9）內(nèi)安裝有壓力傳感器（5）；所述真空蝶閥（2）的電子執(zhí)行器、質(zhì)量流量控制器（4）、壓力傳感器（5）均與控制器相連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的大面積平板式PECVD設(shè)備反應(yīng)腔壓力的控制裝置，其特征在于，所述真空泵（1）與所述真空蝶閥（2）之間的氣路管道（9）上安裝有第一氣動(dòng)閥（11）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的大面積平板式PECVD設(shè)備反應(yīng)腔壓力的控制裝置，其特征在于，所述微調(diào)氣路上安裝有第二氣動(dòng)閥（8）。