[發明專利]基于自清潔表面結構制造的六光束干涉系統

在審

• 申請號: 201410249593.5
• 申請日: 2014-05-28
• 公開（公告）號: CN105301783A
• 公開（公告）日: 2016-02-03
• 發明（設計）人: 張海鑫;張魯佳;陳旭浪;劉光澤;王作斌
• 申請（專利權）人: 長春理工大學
• 主分類號: G02B27/10
• 分類號: G02B27/10;G02B27/00;G03F7/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.基于自清潔表面結構制造的六光束干涉系統，其特征是：系統包括裝置外殼(3)；半反半透鏡(8、11)；全反鏡(9、10、12、13)；半反半透膜(鍍在楔形板上表面)(14)；光學玻璃楔形板(15)；全反膜(鍍在楔形板下表面)(17)；所述半反半透鏡(8、11)和全反鏡(9、10、12、13)固定在裝置內部，并根據光路調整好角度固定，使得光通過全反鏡(10、12、13)后可以以相同角度入射光進入楔形板(15)，所述光學玻璃楔形板(15)需三個大小形狀完全相同，并固定在正三棱柱外殼(3)的三個內表面相同高度處，所述使用的使用光學玻璃楔形板(13)上表面需鍍半反半透膜(14)，下表面需鍍全反膜(17)，所述裝置內部器件固定位置需符合光路，使激光從進光口(2)進入后，出射光線(4)可在裝置外形成干涉焦點(5)。

2.根據權利要求1所述的基于自清潔表面結構制造的六光束干涉系統，其特征是：分光模塊(一)包括(1)進光口、(8、11)半反半透鏡；角度調節(二)包括(9、10、13)反射鏡；等厚相干模塊(三)包括楔形平板(15)；入射光線(4)需垂直入射進入裝置，經過裝置系統后射出，形成所需的六光束干涉；光學玻璃楔形平板(15)上表面鍍有半反半透膜(14)，下表面鍍有全反膜(17)，使入射到楔形板(15)的激光產生反射光和透射光的分光，最終可以達到分振幅干涉；由于楔形板(15)具有相同材料，相同大小和高度，在角度調節模塊中已經調節相同入射光角度進入到楔形板(15)，從而可使楔形板(15)的出射光線(4)聚焦到一點(5)。

3.根據權利要求1所述的基于自清潔表面結構制造的六光束干涉系統，其特征是：可以進行微納米級六光束干涉光刻的材料制作，其制作的微納米級材料具有仿荷葉的自清潔結構，和超疏水的微納結構，如圖5、圖6，從而可以使制造的材料達到自清潔的能力。

4.根據權利要求2所述的基于自清潔表面結構制造的六光束干涉系統，其特征是：入射光線(1)分別經過，分光模塊(一)包括(1)進光口、(8、11)半反半透鏡，角度調節(二)包括(9、10、13)反射鏡，等厚相干模塊(三)包括楔形平板(15)，出射光線(4)聚焦形成六光束干涉焦點(5)。