[發明專利]反射器冷卻水溫控制裝置

在審

• 申請號: 201410249260.2
• 申請日: 2014-06-06
• 公開（公告）號: CN104073873A
• 公開（公告）日: 2014-10-01
• 發明（設計）人: 劉嘉;王彥君;孫健;馮嘯桐;喬柳;韓璐;由佰玲
• 申請（專利權）人: 天津市環歐半導體材料技術有限公司
• 主分類號: C30B13/28
• 分類號: C30B13/28
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 楊慧玲

1.反射器冷卻水溫控制裝置，其特征在于：包括出水水箱(1)、熱電阻(2)、溫度控制儀(3)、閥門(4)和進水水箱(5)，所述出水水箱(1)通過出水管道與反射器(6)的冷卻水管相連，所述熱電阻(2)位于所述出水管道內，所述進水水箱(5)通過進水管道與反射器(6)的冷卻水管相連，所述閥門(4)位于所述進水管道內，所述溫度控制儀(3)通過信號線與熱電阻(2)相連。

2.根據權利要求1所述的反射器冷卻水溫控制裝置，其特征在于：所述閥門(4)為比例閥。

3.根據權利要求1所述的反射器冷卻水溫控制裝置，其特征在于：所述溫度控制儀(3)為PID溫度控制儀。

4.根據權利要求1所述的反射器冷卻水溫控制裝置，其特征在于：還包括發生器線圈(7)和單晶(8)，所述單晶(8)從所述發生器線圈(7)開始向下拉伸，且所述反射器(6)環繞在所述單晶(8)外圍。