[發(fā)明專利]用于電子斷層成像術的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410247938.3
• 申請日: 2014-06-06
• 公開（公告）號: CN104224216B
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發(fā)明（設計）人: U.魯伊肯;R.肖恩馬克斯;J.A.M.安托紐斯
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: A61B6/03
• 分類號: A61B6/03
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 謝攀,劉春元

1.一種對樣本（108）進行電子斷層成像的方法，所述樣本被安裝在電子顯微鏡（100）中的樣本支架（110）上，所述電子顯微鏡包括用于沿光軸（102）生成能量電子束的電子源（104），和用于使能量電子束聚焦以及偏轉(zhuǎn)從而利用能量電子束輻射樣本的光學元件（106、112、122、128-i），所述樣本支架能夠使樣本相對于能量電子束定向以及傾斜，所述方法包括通過利用能量電子束輻射樣本來獲取圖像的傾斜系列，每個圖像是以相關聯(lián)的獨特傾斜角度獲取的，以讀出速度將所述圖像記錄在攝像機上，其特征在于，在所述攝像機連續(xù)獲取圖像的傾斜系列的同時連續(xù)地改變傾斜角度，并且連續(xù)地改變樣本的位置以將樣本保持在光軸上而無需為了穩(wěn)定樣本支架的位置損失時間。

2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中樣本被成像在像素化攝像機（124）上，并且以度每秒表達的傾斜角度的速率和以幀每秒表達的攝像機的讀出速度被匹配以使得在一幀期間由于傾斜改變而引起的圖像位移小于一個像素。

3.根據(jù)權利要求2所述的方法，其中樣本被成像在像素化攝像機（124）上，并且以度每秒表達的傾斜角度的速率和以幀每秒表達的攝像機的讀出速度被匹配以使得在一幀期間由于傾斜改變而引起的圖像位移小于半個像素。

4.根據(jù)前述權利要求中任意一項所述的方法，其中對傾斜的速率進行調(diào)節(jié)。

5.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中形成傾斜系列的圖像的偏移和/或轉(zhuǎn)動校正被相對于彼此而應用。

6.根據(jù)權利要求5所述的方法，其中偏移和/或轉(zhuǎn)動校正基于使用來自多于兩個圖像的數(shù)據(jù)的算法，以同時校正多個圖像的相對位置。

7.根據(jù)權利要求5所述的方法，其中偏移和/或轉(zhuǎn)動校正基于使用兩個圖像的數(shù)據(jù)的算法，以成對地校正相對位置。

8.根據(jù)權利要求5到7中任意一項所述的方法，其中偏移和/或轉(zhuǎn)動校正基于圖像中的一個或多個標記的位置。

9.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中在傾斜系列的獲取期間不改變用于聚焦的光學元件（106、112、122）的激勵。

10.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中在成像期間不改變光學元件（106、112、122、126-i）的激勵，并且所述樣本的位置通過使樣本相對于光軸機械地運動而被連續(xù)地改變。

11.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中在連續(xù)地改變傾斜角度的同時改變聚焦位置以將感興趣的區(qū)域保持在適當位置和/或保持為焦點對準。

12.一種對樣本（108）執(zhí)行電子斷層成像的設備，所述樣本被安裝在電子顯微鏡（100）中的樣本支架（110）上，所述電子顯微鏡包括用于沿光軸（102）生成能量電子束的電子源（104），和用于使能量電子束聚焦以及偏轉(zhuǎn)從而利用能量電子束輻射樣本的光學元件（106、112、122、128-i），所述樣本支架能夠使樣本相對于能量電子束定向以及傾斜，所述設備包括用于通過利用能量電子束輻射樣本來獲取圖像的傾斜系列的裝置，每個圖像是以相關聯(lián)的獨特傾斜角度獲取的，以讀出速度將所述圖像記錄在攝像機上，其特征在于，在所述攝像機連續(xù)獲取圖像的傾斜系列的同時連續(xù)地改變傾斜角度，并且連續(xù)地改變樣本的位置以將樣本保持在光軸上而無需為了穩(wěn)定樣本支架的位置損失時間。