[發明專利]柔性太陽能電池及其制備方法

有效

• 申請號: 201410246824.7
• 申請日: 2014-06-05
• 公開（公告）號: CN105226118B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發明（設計）人: 葉勤燕;梅軍;廖成;劉江;何緒林;劉煥明
• 申請（專利權）人: 中物院成都科學技術發展中心
• 主分類號: H01L31/0352
• 分類號: H01L31/0352;H01L31/0264;H01L31/0224;H01L31/18
• 代理公司: 四川力久律師事務所51221
• 代理人: 曹晉玲,劉雪蓮

1.柔性太陽能電池，包括柔性基底和在柔性基底上依次形成的擴散阻擋層、第一電極層、吸收層、緩沖層、第二電極層、減反層和表面電極層，其特征在于，所述擴散阻擋層為三層或三層以上結構，所述擴散阻擋層的每一層任選由以下組制成：

A組：鋁、鉬、鈦、鎳、銅、鋯、鈮、鉻、釕、銠、鈀、鉭、鎢、銥、鋨、鉑、金或銀，或它們的合金；或

B組：硅的氮化物、氧化物或碳化物；或

C組：氮化鈦、氮化鉭、氮化鎢或氮化鋯；

所述擴散阻擋層的厚度為10nm～3000nm。

2.根據權利要求1所述的柔性太陽能電池，其特征在于，所述柔性基底為導電鉬箔。

3.根據權利要求2所述的柔性太陽能電池，其特征在于，所述擴散阻擋層為三層結構，包括靠近基底層、中間層和靠近第一電極層。

4.根據權利要求3所述的柔性太陽能電池，其特征在于，所述擴散阻擋層的中間層由氮化鈦、氮化鉭、氮化鎢或氮化鋯的任一種制成。

5.根據權利要求3所述的柔性太陽能電池，其特征在于，所述擴散阻擋層的靠近基底層由鉬、鈦、鉻、氮化鈦或氮化鉭制成。

6.根據權利要求3所述的柔性太陽能電池，其特征在于，所述擴散阻擋層的靠近第一電極層由鈦、鉻或氮化鈦制成。

7.根據權利要求1所述的柔性太陽能電池，其特征在于，所述靠近基底層由鉬制成，所述中間層由氮化鈦制成，所述靠近第一電極層由鉻制成，所述擴散阻擋層的厚度為1200nm，所述第一電極層為鉬薄膜層。

8.權利要求1～7任一項所述的柔性太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

(1)基底進行表面除油處理及表面拋光處理，使所述基底表面粗糙度達到1nm～2000nm；

(2)在基底上制備擴散阻擋層，所述制備方法選自化學鍍膜法、電化學鍍膜法、化學氣相沉積法、蒸鍍法或磁控濺射法的任一種；

(3)在擴散阻擋層上依次制備第一電極層、吸收層、緩沖層、第二電極層、減反層和表面電極層。

9.柔性太陽能電池擴散阻擋層，設置于太陽能電池柔性基底和第一電極層之間，其特征在于，所述擴散阻擋層為三層或三層以上結構，所述擴散阻擋層的每一層可任選由以下組制成：

A組：鋁、鉬、鈦、鎳、銅、鋯、鈮、鉻、釕、銠、鈀、鉭、鎢、銥、鋨、鉑、金或銀，或它們的合金；或

B組：硅的氮化物、氧化物或碳化物；或

C組：氮化鈦、氮化鉭、氮化鎢或氮化鋯；

所述擴散阻擋層的厚度為10nm～3000nm，所述柔性基底為導電鉬箔，所述第一電極層為鉬薄膜層。

10.根據權利要求9所述的柔性太陽能電池擴散阻擋層，其特征在于，所述靠近基底層由鉬制成，所述中間層由氮化鈦制成，所述靠近第一電極層由鉻制成，所述擴散阻擋層的厚度為1200nm。