[發明專利]具有背保護層的柔性太陽能電池及其制備方法

有效

• 申請號: 201410246505.6
• 申請日: 2014-06-05
• 公開（公告）號: CN105206695B
• 公開（公告）日: 2017-08-11
• 發明（設計）人: 葉勤燕;梅軍;廖成;劉江;何緒林;劉煥明
• 申請（專利權）人: 中物院成都科學技術發展中心
• 主分類號: H01L31/049
• 分類號: H01L31/049;H01L31/18
• 代理公司: 四川力久律師事務所51221
• 代理人: 曹晉玲,劉雪蓮

1.具有背保護層的柔性太陽能電池，所述柔性太陽能電池的柔性基底的太陽能接收側依次形成有擴散阻擋層、第一電極層、吸收層、緩沖層、第二電極層、減反層和表面電極層，其特征在于：

所述柔性基底的太陽能接收側的相對側形成有背保護層，所述背保護層為單層，所述背保護層任選由以下組制成：

a組：鋁、鉬、鈦、鎳、銅、鋯、鈮、鉻、釕、銠、鈀、鉭、鎢、銥、鋨、鉑、金或銀，或它們的合金；或

b組：硅的氮化物、氧化物或碳化物；或

c組：氮化鈦、氮化鉭、氮化鎢或氮化鋯；

所述背保護層厚度為10nm~3000nm；

所述擴散阻擋層為三層結構，包括靠近基底層、中間層和靠近第一電極層；

所述擴散阻擋層的中間層由氮化鈦、氮化鉭、氮化鎢或氮化鋯的任一種制成；

所述擴散阻擋層的靠近基底層由鉬、鈦、鉻、氮化鈦或氮化鉭制成；

所述擴散阻擋層的靠近第一電極層由鈦、鉻或氮化鈦制成；

所述擴散阻擋層的厚度為10nm～3000nm。

2.根據權利要求1所述的具有背保護層的柔性太陽能電池，其特征在于，所述柔性基底為導電鉬箔。

3.根據權利要求2所述的具有背保護層的柔性太陽能電池，其特征在于，所述第一電極層為鉬薄膜層。

4.根據權利要求2所述的具有背保護層的柔性太陽能電池，其特征在于，所述背保護層由氮化硅、氧化硅、碳化硅、氮化鈦、氮化鉭、氮化鎢或氮化鋯制成。

5.根據權利要求1所述的具有背保護層的柔性太陽能電池，其特征在于，所述背保護層由氮化鈦制成，所述背保護層的厚度為200nm；所述靠近基底層由鉬制成，所述中間層由氮化鈦制成，所述靠近第一電極層由鉻制成，所述擴散阻擋層的厚度為1200nm。

6.權利要求1～5任一項所述的具有背保護層的柔性太陽能電池的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：

（1）基底進行表面除油處理及表面拋光處理，使所述基底表面粗糙度達到1nm～2000nm；

（2）在基底的太陽能接收側的相對側制備背保護層，所述制備方法選自蒸鍍法、磁控濺射法、化學氣相沉積法、電化學沉積法或化學沉積法的任一種；

（3）在基底的太陽能接收側制備擴散阻擋層，所述制備方法選自化學鍍膜法、電化學鍍膜法、化學氣相沉積法、蒸鍍法或磁控濺射法的任一種；

（4）在擴散阻擋層上依次制備第一電極層、吸收層、緩沖層、第二電極層、減反層和表面電極層。