[發明專利]用于浸沒式光刻機中的負壓環境下的連續氣液分離裝置

無效

• 申請號: 201410246163.8
• 申請日: 2014-06-05
• 公開（公告）號: CN104035288A
• 公開（公告）日: 2014-09-10
• 發明（設計）人: 傅新;陳伊驊;李星;陳文昱
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 林懷禹

1.用于浸沒式光刻機中的負壓環境下的連續氣液分離裝置，其特征在于：包括裝有液位探測元件（7）的氣液分離貯存容腔（8），真空回路和排水回路；

所述真空回路，包括真空壓力變送器（9），控制器（10），真空比例閥（11），開關閥（12），真空泵（13），汽水分離器（14）：氣液混合物與氣液分離貯存容腔（8）的上部的入口連接，真空壓力變送器（9）的入口與氣液分離貯存容腔（8）的上部的出口連接，真空壓力變送器（9）的出口依次經真空比例閥（11）、開關閥（12）、真空泵（13）和汽水分離器（14）和氣體回收點（11）連接，真空壓力變送器（9）和真空比例閥（11）與控制器（10）電連接；

所述排水回路，包括流量調節閥（16），卸載閥（17），自吸泵（18）；氣液分離貯存容腔（8）底部出口分為兩路，一路經流量調節閥（16）和自吸泵（18）的入口連接，另一路與卸載閥（17）的入口連接，自吸泵（18）的出口和卸載閥（17）的出口接液體出水點（19）；

連續氣液分離裝置的氣液混合物入口（6）與浸沒式光刻機中的浸沒單元（3）連接。

2.根據權利要求1所述的用于浸沒式光刻機中的負壓環境下的連續氣液分離裝置，其特征在于：所述真空壓力變送器（9）為壓阻式真空壓力變送器。

3.根據權利要求1所述的用于浸沒式光刻機中的負壓環境下的連續氣液分離裝置，其特征在于：所述自吸泵（18）為自吸高度大于6m的離心式自吸泵。

4.根據權利要求1所述的用于浸沒式光刻機中的負壓環境下的連續氣液分離裝置，其特征在于：所述控制器（10）為具備模擬量輸出與讀取功能的可編程工控機。