[發(fā)明專利]對帶電粒子設(shè)備中的樣品成像的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410245642.8
• 申請日: 2014-06-05
• 公開（公告）號: CN104241066B
• 公開（公告）日: 2017-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: B.塞達;L.圖馬;P.赫拉文卡;P.斯塔
• 申請（專利權(quán)）人: FEI公司
• 主分類號: H01J37/26
• 分類號: H01J37/26
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司72001
• 代理人: 張濤,胡莉莉

1.?一種對帶電粒子設(shè)備(100)中的樣品成像的方法，所述帶電粒子設(shè)備配備有

·?可抽真空的樣品室(103)，

·?用于沿著電子束軸線產(chǎn)生精細聚焦的電子束(112)的電子束柱(101)，所述電子束柱配備有包含靜電浸沒透鏡的物鏡(116)，

·?用于沿著離子束軸線產(chǎn)生精細聚焦的離子束(122)的聚焦離子束柱(102)，

·?所述聚焦離子束柱(102)和所述電子束柱(101)被安裝在所述樣品室(103)上，以使得電子束軸線和離子束軸線在交點位置(106)處相交，

·?示出配備有用于支承樣品(104)的部件的導(dǎo)電平面(201)的樣品操縱器(105)，所述樣品操縱器能夠在所述平面垂直于電子束軸線所成的第一傾斜角度和所述平面垂直于離子束軸線所成的第二傾斜角度之間傾斜所述平面，

所述方法包括

·?把樣品(104)安裝在所述樣品操縱器(105)的平面上，

·?利用所述電子束柱(101)把精細聚焦電子束(112)導(dǎo)向樣品(104)，

·?利用所述聚焦離子束柱(102)把離子束(122)導(dǎo)向樣品(104)，

其特征在于

所述電子束柱(101)示出最靠近交點位置(106)的電極(204)，并且所述聚焦離子束柱(102)示出最靠近交點位置(106)的電極(212)，所述電極(204，212)連接到公共電位，以及對安裝有樣品(104)的所述平面(201)關(guān)于所述電極（104，212）進行電偏置而達到取決于傾斜角度離子束(122)和電子束(112)在不示出橫向色像差的情況下相交于交點位置(106)這樣的程度，以及對于兩個傾斜位置而言束的交點在同一位置處。

2.?根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中如果所述平面垂直于電子束軸線，則取決于傾斜角度的偏置為0。

3.?根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中所述第一傾斜角度和所述第二傾斜角度之間的差在45度和60度之間。

4.?根據(jù)前述權(quán)利要求中任意一項所述的方法，其中真空室包含一個或更多個導(dǎo)電部分，所述一個或更多個導(dǎo)電部分配備成被關(guān)于樣品和電極偏置。

5.?根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中能夠關(guān)于電極和樣品定位所述一個或更多個導(dǎo)電部分中的至少一個。

6.?根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的方法，其中所述一個或更多個部分包含來自如下的組的部分：氣體注入系統(tǒng)(142)、操縱器(145)、二次電子檢測器(140)、后向散射電子檢測器(141)、帶電粒子檢測器、X射線檢測器或照相機。

7.?根據(jù)前述權(quán)利要求中任意一項所述的方法，其中所述電子束柱包含柱內(nèi)帶電粒子檢測器(141)。

8.?根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中柱內(nèi)檢測器(141)是透鏡內(nèi)檢測器。

9.?根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的方法，其中配備柱內(nèi)檢測器以在二次電子和后向散射電子之間進行區(qū)別。