[發明專利]一種軸向氣力驅動行星旋轉裝置

有效

• 申請號: 201410243700.3
• 申請日: 2014-06-04
• 公開（公告）號: CN104046962A
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發明（設計）人: 陳特超;林伯奇;胡凡;趙瓛;王慧勇;劉欣
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司 43113
• 代理人: 馬強

1.一種軸向氣力驅動行星旋轉裝置，包括帶動基片（3）旋轉的自轉盤（5），其特征是，所述自轉盤（5）的底面中心安裝內設通氣孔（8）的空心軸（7），所述自轉盤（5）的內部中心設有與空心軸（7）的通氣孔（8）連通的主通氣孔（9）；所述自轉盤（5）頂面設有多個沿圓周排列的行星盤凹槽（10），并在行星盤凹槽（10）中安裝行星盤（2），每個行星盤（2）底面中心設有行星盤轉軸（4），所述行星盤轉軸（4）的底端安裝在自轉盤（5）中且行星盤（2）可繞行星盤轉軸（4）轉動；所述主通氣孔（9）的外周設有延伸至每個行星盤凹槽（10）下方的分通氣孔（11），分通氣孔（11）的直徑小于主通氣孔（9）的高度，且分通氣孔（11）經過沿自傳盤（5）軸向設置的通氣通道（12）與各行星盤凹槽（10）連通；所述基片（3）放置在行星盤（2）頂面，所述行星盤（2）底面設有多個沿圓周方向排列的斜面槽（13）。

2.根據權利要求1所述軸向氣力驅動行星旋轉裝置，其特征是，所述自轉盤（5）的頂面靠近自轉盤（5）外周設有與行星盤凹槽（10）連通的導氣槽（14）。

3.根據權利要求1所述軸向氣力驅動行星旋轉裝置，其特征是，所述自轉盤（5）的中心設有與自轉盤（5）上下表面導通的中心孔，主通氣孔（9）設在中心孔的中部，主通氣孔（9）的上部和下部為蓋板安裝孔，蓋板安裝孔的直徑大于主通氣孔（9）的直徑，并在每個蓋板安裝孔中分別安裝用于密封蓋板安裝孔的蓋板（1，6）。

4.根據權利要求1-3之一所述軸向氣力驅動行星旋轉裝置，其特征是，所述主通氣孔（9）的徑向中心與自轉盤（5）的分通氣孔（11）的中心軸線重合。

5.根據權利要求1-3之一所述軸向氣力驅動行星旋轉裝置，其特征是，每個行星盤凹槽（10）下方均設有一組分通氣孔，每組分通氣孔包括第一分通氣孔（15）、以第一分通氣孔（15）為中心軸而分布在第一分通氣孔（15）兩側的第二分通氣孔（16）和第三分通氣孔（17），所述第二分通氣孔（16）與第三分通氣孔（17）的長度大于第一分通氣孔（15）。

6.根據權利要求1-3之一所述軸向氣力驅動行星旋轉裝置，其特征是，遠離行星盤（2）中心的斜面槽（13）一端槽深度大于靠近行星盤（2）中心的斜面槽（13）一端槽深度。