[發明專利]投影狹縫及調焦調平傳感器有效
| 申請號： | 201410243346.4 | 申請日： | 2014-06-03 |
| 公開（公告）號： | CN105223780B | 公開（公告）日： | 2017-12-29 |
| 發明（設計）人： | 孫昊 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備（集團）股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李時云 |
| 地址： | 201203 上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 投影 狹縫 調焦 傳感器 | ||
1.一種投影狹縫，用于在待測表面形成沿測量方向排布的M排光斑，其特征在于，所述光斑具有多種形狀或朝向。
2.如權利要求1所述的投影狹縫，其特征在于，所述M排光斑沿測量方向上呈多排分布，每排中包含多個大小、形狀一致的光斑。
3.如權利要求1所述的投影狹縫，其特征在于，以位于中間的一排光斑為基準，其余排光斑在所述基準兩側排布。
4.如權利要求1所述的投影狹縫，其特在于，以位于中間的一排光斑為基準，所述基準兩側距離所述基準等距處的兩排光斑的形狀及朝向相同。
5.如權利要求1所述的投影狹縫，其特征在于，相鄰排的光斑在測量方向上寬度按照設定規格變化。
6.如權利要求5所述的投影狹縫，其特征在于，位于中間的一排光斑及位于其一側的多排光斑在測量方向上的寬度呈等差分布，中間排的光斑的寬度最小。
7.如權利要求6所述的投影狹縫，其特征在于，所述光斑的寬度為0.2mm～1mm。
8.如權利要求1所述的投影狹縫，其特征在于，各排光斑的大小形狀一致，每排中光斑的朝向一致且異于相鄰排的光斑的朝向。
9.如權利要求1所述的投影狹縫，其特征在于，中間的一排朝向為垂直測量方向，其余排按距離中間的一排自近而遠起由垂直測量方向沿順時針方向逐漸傾斜。
10.如權利要求9所述的投影狹縫，其特征在于，所述傾斜范圍為0～90°。
11.如權利要求1所述的投影狹縫，其特征在于，相鄰排的光斑在測量方向上寬度按照設定規格變化，每排中光斑的朝向一致且異于相鄰排的光斑的朝向。
12.如權利要求11所述的投影狹縫，其特征在于，位于中間的一排光斑及位于其一側的多排光斑在測量方向上的寬度呈等差分布，中間排的光斑的寬度最小。
13.如權利要求12所述的投影狹縫，其特征在于，所述光斑的寬度為0.2mm～1mm。
14.如權利要求11所述的投影狹縫，其特征在于，中間的一排朝向為垂直測量方向，其余排按距離中間的一排自遠而近起由垂直測量方向沿順時針方向逐漸傾斜。
15.如權利要求14所述的投影狹縫，其特征在于，所述傾斜范圍為0～90°。
16.一種調焦調平傳感器，包括投影狹縫及光電探測器陣列，其特征在于，所述投影狹縫為如權利要求1～15中任意一項所述的投影狹縫；所述光電探測器陣列配備有對應于每一個光斑的信號處理通道。
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