[發明專利]一種深紫外激光產生與傳輸裝置

在審

• 申請號: 201410241146.5
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN104064949A
• 公開（公告）日: 2014-09-24
• 發明（設計）人: 許祖彥;徐志;彭欽軍;王志敏;楊峰;張豐豐;張申金;宗楠
• 申請（專利權）人: 中國科學院理化技術研究所
• 主分類號: H01S3/10
• 分類號: H01S3/10;H01S3/109;H01S3/17
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 李迪

1.一種深紫外激光產生與傳輸裝置，所述深紫外激光產生與傳輸裝置包括：密封腔體系統和真空系統，其特征在于，所述深紫外激光產生與傳輸裝置還包括深紫外激光產生系統和深紫外激光傳輸系統；所述深紫外激光產生系統和深紫外激光傳輸系統均位于所述密封腔體內；

所述密封腔體系統包括腔體，觀察窗口、紫外激光輸入窗口、紫外激光輸出窗口、氣體進口、氣體出口和深紫外激光輸出窗口；

所述真空系統包括真空產生系統，真空測量系統，和真空填充系統；所述真空填充系統中填充氣體為對深紫外波段吸收小的高純氣體,或無填充氣體的真空系統；

所述深紫外激光產生系統包括深紫外倍頻晶體器件，深紫外倍頻晶體角度調節器件；

所述深紫外激光傳輸系統包括深紫外光學元件及深紫外激光熒光顯示元件。

2.根據權利要求1所述的一種深紫外激光產生與傳輸裝置，其特征在于，所述深紫外激光熒光顯示元件是玻璃，熒光粉等在深紫外波段有顯示功能的材料。

3.根據權利要求1所述一種深紫外激光產生與傳輸裝置，其特征在于，真空放氣小深紫外激光功率計為陶瓷功率計，即功率計的光熱感應部分采用石墨，電路底板部分采用放氣小的陶瓷材料。

4.根據權利要求1所述一種深紫外激光產生與傳輸裝置，其特征在于，所述高純氣體為純度99.9％以上的N₂、He、Ne或Ar等在深紫外波段吸收小的氣體。

5.根據權利要求1、2任一項所述的一種深紫外激光產生與傳輸裝置，其特征在于，所述深紫外激光熒光顯示元件，為利用所述有顯示功能的材料制作的移動元件，所述移動元件在深紫外光路中移動進/出深紫外激光光路。

6.根據權利要求1、2任一項所述裝置，其特征在于，所述深紫外激光熒光顯示元件，為利用所述有顯示功能的材料制作的小孔光闌，所述小孔光闌固定在光路中。

7.根據權利要求3所述一種深紫外激光產生與傳輸裝置，其特征在于，所述深紫外激光功率計為在真空放氣小深紫外激光功率計，所述深紫外激光功率計前端面安裝有利用所述深紫外顯示元件制作的小孔光闌。

8.根據權利要求1所述一種深紫外激光產生與傳輸裝置，其特征在于，所述密封腔體為組合腔體，組合腔體為獨立腔體或聯通腔體，所述深紫外激光產生系統與所述深紫外激光傳輸系統可以位于所述組合腔體中。

9.根據權利要求1、2、3、5、6、7、8任一項所述一種深紫外激光產生與傳輸裝置，其特征在于，所述材料為在真空放氣小的材料；所述腔體為氣密性好的腔體。