[發(fā)明專利]一種超長(zhǎng)行程高加速高精密定位一維平臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410240350.5
• 申請(qǐng)日: 2014-05-30
• 公開（公告）號(hào): CN104019332A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張璐凡;張進(jìn)華;方記文;呂杭原;念龍生;王勉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安交通大學(xué)
• 主分類號(hào): F16M11/04
• 分類號(hào): F16M11/04;F16M11/18
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 61200
• 代理人: 陸萬(wàn)壽

1.一種超長(zhǎng)行程高加速高精密定位一維平臺(tái)，其特征在于，包括，底座(1)上安裝有相串聯(lián)的第一緩沖連接板(7)和第二緩沖連接板(9)，第一緩沖連接板(7)上安裝有第一直線電機(jī)定子(6)，第二緩沖連接板(9)上安裝有第二直線電機(jī)定子(8)，第一直線電機(jī)定子(6)與第二直線電機(jī)定子(8)串聯(lián)連接，組成了超長(zhǎng)行程電機(jī)直線電機(jī)定子，超長(zhǎng)行程電機(jī)直線電機(jī)定子上通過軌道安裝有粗定位平臺(tái)(3)，粗定位平臺(tái)(3)的中央安裝有高精密定位平臺(tái)(5)，粗定位平臺(tái)(3)與高精密定位平臺(tái)(5)之間通過壓電致動(dòng)器(4)相連接，粗定位平臺(tái)(3)的下面安裝有用于提供動(dòng)力的直線電機(jī)動(dòng)子(2)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超長(zhǎng)行程高加速高精密定位一維平臺(tái)，其特征在于，所述第一直線電機(jī)定子(6)上安裝有第一導(dǎo)軌(16-1)和第三導(dǎo)軌(16-2)，第二直線電機(jī)定子(8)上安裝有第二導(dǎo)軌(17-1)和第四導(dǎo)軌(17-2)，第一導(dǎo)軌(16-1)與第二導(dǎo)軌(17-1)串聯(lián)連接，組成了第一超長(zhǎng)導(dǎo)軌，第三導(dǎo)軌(16-2)與第四導(dǎo)軌(17-2)串聯(lián)連接，組成了第二超長(zhǎng)導(dǎo)軌；粗定位平臺(tái)(3)的下表面兩側(cè)安裝有與第一超長(zhǎng)導(dǎo)軌以及第二超長(zhǎng)導(dǎo)軌相配合的第一滑塊(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超長(zhǎng)行程高加速高精密定位一維平臺(tái)，其特征在于，所述第一超長(zhǎng)導(dǎo)軌與第二超長(zhǎng)導(dǎo)軌的兩端安裝有用于位移限制的第一導(dǎo)軌擋塊(15)和第二導(dǎo)軌擋塊(18)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超長(zhǎng)行程高加速高精密定位一維平臺(tái)，其特征在于，粗定位平臺(tái)(3)上安裝有用于讀取粗定位平臺(tái)(3)運(yùn)動(dòng)位移的粗光柵尺讀數(shù)頭(11)，以及用于讀取高精密定位平臺(tái)(5)運(yùn)動(dòng)位移的精光柵尺讀數(shù)頭(12)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的超長(zhǎng)行程高加速高精密定位一維平臺(tái)，其特征在于，所述直線電機(jī)動(dòng)子(2)上開設(shè)有螺紋口(13)，粗定位平臺(tái)(3)通過螺紋口(13)與直線電機(jī)動(dòng)子(2)緊固連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超長(zhǎng)行程高加速高精密定位一維平臺(tái)，其特征在于，所述超長(zhǎng)行程電機(jī)直線電機(jī)定子的兩端安裝有用于限制直線電機(jī)動(dòng)子(6)在預(yù)訂行程內(nèi)運(yùn)動(dòng)的第一擋板(14)和第二擋板(19)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超長(zhǎng)行程高加速高精密定位一維平臺(tái)，其特征在于，所述底座(1)的一側(cè)上安裝有第一軌道(27-1)和第二軌道(28-1)，第一軌道(27-1)和第二軌道(28-1)相串聯(lián)連接，組成了第一超長(zhǎng)軌道，底座(1)的另一側(cè)上安裝有第三軌道(27-2)和第四軌道(28-2)，第三軌道(27-2)和第四軌道(28-2)相串聯(lián)連接，組成了第二超長(zhǎng)軌道，第一超長(zhǎng)軌道與第二超長(zhǎng)軌道相平行，第一超長(zhǎng)軌道與第二超長(zhǎng)軌道的外側(cè)安裝有若干導(dǎo)桿擋塊(26)；相串聯(lián)的第一緩沖連接板(7)與第二緩沖連接板(9)結(jié)構(gòu)相同，其中，第一緩沖連接板(7)的下表面的兩側(cè)安裝有與第一超長(zhǎng)軌道和第二超長(zhǎng)軌道相配合的第二滑塊(24)，第一緩沖連接板(7)的兩側(cè)安裝有導(dǎo)桿(23)，導(dǎo)桿(23)的兩端套設(shè)有彈簧(22)，當(dāng)?shù)谝痪彌_連接板(7)安裝于底座(1)上時(shí)，導(dǎo)桿(23)的兩端所套設(shè)的彈簧(22)卡合于導(dǎo)桿擋塊(26)的兩側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超長(zhǎng)行程高加速高精密定位一維平臺(tái)，其特征在于，所述底座(1)上安裝有用于限制第一緩沖連接板(7)和第二緩沖連接板(9)位移的第一緩沖連接板擋塊(25)和第二緩沖連接板擋塊(29)。