[發明專利]微滴噴射與化學沉積技術制備柔性導電線路的方法及裝置

有效

• 申請號: 201410239569.3
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN104010446B
• 公開（公告）日: 2017-05-24
• 發明（設計）人: 肖淵;陳蘭;黃亞超;張丹;蔣龍
• 申請（專利權）人: 西安工程大學
• 主分類號: H05K3/14
• 分類號: H05K3/14;H05K3/18;C23C18/44
• 代理公司: 西安弘理專利事務所61214
• 代理人: 羅笛

1.微滴噴射與化學沉積技術制備柔性導電線路的方法，其特征在于，基于氣壓驅動雙噴頭微滴噴射裝置，所述氣壓驅動雙噴頭微滴噴射裝置先后控制金屬鹽溶液與還原劑溶液噴出，并按照相同的沉積軌跡沉積，沉積的還原劑微滴與金屬鹽微滴發生化學反應，形成柔性導電線路；

所述氣壓驅動雙噴頭微滴噴射裝置包括三維移動平臺(5)，所述三維移動平臺(5)側面設置有CCD照相機(6)，所述三維移動平臺(5)上方設置有坩堝A(8)和坩堝B(9)，所述坩堝A(8)通過接氣管A(1)連接氣泵A(12)，所述氣泵A(12)與所述坩堝A(8)之間的接氣管A(1)上依次設置有電磁閥A(2)和排氣閥A(10)，所述坩堝B(9)通過接氣管B(14)連接氣泵B(13)，所述氣泵B(13)與所述坩堝B(9)之間的接氣管B(14)上依次設置有電磁閥B(3)與排氣閥B(11)；所述電磁閥A(2)、電磁閥B(3)、三維移動平臺(5)和CCD照相機(6)均與控制設備(7)相連接；所述坩堝A(8)與坩堝B(9)分別鑲嵌有噴嘴；所述氣泵A(12)與氣泵B(13)分別連接有壓力表；具體制備方法包括以下步驟：

步驟1：將基板(4)搭載在三維移動平臺(5)上，并在坩堝A(8)與坩堝B(9)中分別盛裝金屬鹽溶液與還原劑溶液；

步驟2：打開氣泵A(12)與氣泵B(13)，根據壓力表的示數，調節氣壓至合適范圍；

步驟3：啟動控制設備(7)及三維移動平臺(5)，控制設備(7)控制金屬鹽溶液噴出，金屬鹽微滴按照三維移動平臺(5)預設運動軌跡沉積在基板(4)上，金屬鹽溶液沉積完成后控制設備(7)停止工作；

步驟4：再次啟動控制設備(7)及三維移動平臺(5)，控制設備(7)控制還原劑溶液噴出，還原劑溶液的噴射軌跡與金屬鹽溶液的噴射軌跡相同，還原劑微滴按照金屬鹽微滴的沉積軌跡沉積在金屬鹽微滴上，還原劑微滴與金屬鹽微滴發生化學反應，形成柔性導電線路。

2.如權利要求1所述的微滴噴射與化學沉積技術制備柔性導電線路的方法，其特征在于，所述步驟1中金屬鹽溶液為銀鹽類溶液，具體為硝酸銀、月桂酸銀、肉豆蔻酸銀，檸檬酸銀中的任意一種。

3.如權利要求1所述的微滴噴射與化學沉積技術制備柔性導電線路的方法，其特征在于，所述步驟1中還原劑溶液為乙二醇、NaBH4、三乙胺，抗壞血酸中的任意一種。

4.如權利要求1所述的微滴噴射與化學沉積技術制備柔性導電線路的方法，其特征在于，所述步驟2中氣壓的壓強為30KPa-250KPa。

5.一種使用如權利要求1所述方法制備柔性導電線路的氣壓驅動雙噴頭微滴噴射裝置，其特征在于，包括三維移動平臺(5)，所述三維移動平臺(5)側面設置有CCD照相機(6)，所述三維移動平臺(5)上方設置有坩堝A(8)和坩堝B(9)，所述坩堝A(8)通過接氣管A(1)連接氣泵A(12)，所述氣泵A(12)與所述坩堝A(8)之間的接氣管A(1)上依次設置有電磁閥A(2)和排氣閥A(10)，所述坩堝B(9)通過接氣管B(14)連接氣泵B(13)，所述氣泵B(13)與所述坩堝B(9)之間的接氣管B(14)上依次設置有電磁閥B(3)與排氣閥B(11)；所述電磁閥A(2)、電磁閥B(3)、三維移動平臺(5)和CCD照相機(6)均與控制設備(7)相連接；所述坩堝A(8)與坩堝B(9)分別鑲嵌有噴嘴，氣泵A(12)與氣泵B(13)分別連接有壓力表。