[發(fā)明專利]基于T型結(jié)構(gòu)的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410239300.5
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN104049107A
• 公開（公告）日: 2014-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 周震;史杰;馮麗爽;楊功流
• 申請（專利權(quán)）人: 北京航空航天大學(xué)
• 主分類號: G01P15/097
• 分類號: G01P15/097
• 代理公司: 北京永創(chuàng)新實專利事務(wù)所 11121
• 代理人: 李有浩

1.一種基于T型結(jié)構(gòu)的具有測溫功能的一體差動式石英振梁加速度計，其特征在于：該加速度計包括有A諧振器(1)、B諧振器(2)、A質(zhì)量塊(6A)、B質(zhì)量塊(6B)、第一正電極(7A)、第一負(fù)電極(7B)、第二正電極(7C)、第二負(fù)電極(7D)、第三正電極(8A)、第三負(fù)電極(8B)、第四正電極(8C)、第四負(fù)電極(8D)、安裝框(3)、A隔離框(4A)、B隔離框(4B)、A固定框(5A)、B固定框(5B)、第一連接臂(9A)、第二連接臂(9B)、第三連接臂(9C)、第四連接臂(9D)；

其中，A諧振器(1)與B諧振器2的結(jié)構(gòu)相同；

其中，A質(zhì)量塊(6A)與B質(zhì)量塊6B的結(jié)構(gòu)相同；

其中，第一正電極(7A)、第一負(fù)電極(7B)、第二正電極(7C)和第二負(fù)電極(7D)的結(jié)構(gòu)相同；

其中，第三正電極(8A)與第三負(fù)電極(8B)的結(jié)構(gòu)相同；

其中，第四正電極(8C)與第四負(fù)電極(8D)的結(jié)構(gòu)相同；

其中，A隔離框(4A)與B隔離框(4B)的結(jié)構(gòu)相同；

其中，A固定框(5A)與B固定框(5B)的結(jié)構(gòu)相同；

其中，第一連接臂(9A)與第三連接臂(9C)的結(jié)構(gòu)相同；

其中，第二連接臂(9B)與第四連接臂(9D)的結(jié)構(gòu)相同；

A諧振器(1)由AA豎梁(1A)、AB豎梁(1B)、AC豎梁(1C)、AD豎梁(1D)、AA橫梁(1E)、AB橫梁(1F)、AC橫梁(1G)、AD橫梁(1H)、第一T形梁(1J)和第二T形梁(1K)構(gòu)成；第一T形梁(1J)設(shè)置在AA豎梁(1A)的中心處外側(cè)；第二T形梁(1K)設(shè)置在AD豎梁(1D)的中心處外側(cè)；AA豎梁(1A)、AB豎梁(1B)、AC豎梁(1C)和AD豎梁(1D)沿X軸向平行放置，且AA豎梁(1A)、AB豎梁(1B)、AC豎梁(1C)和AD豎梁(1D)之間有切縫；AB橫梁(1F)、AC橫梁(1G)和AD橫梁(1H)沿Y軸向平行放置，且AB橫梁(1F)用于連接AA豎梁(1A)、AB豎梁(1B)、AC豎梁(1C)和AD豎梁(1D)的上部，AD橫梁(1H)用于連接AA豎梁(1A)、AB豎梁(1B)、AC豎梁(1C)和AD豎梁(1D)的下部，AB豎梁(1B)和AC豎梁(1C)用于連接AB豎梁(1B)與AC豎梁(1C)；

B諧振器(2)由BA豎梁(2A)、BB豎梁(2B)、BC豎梁(2C)、BD豎梁(2D)、BA橫梁(2E)、BB橫梁(2F)、BC橫梁(2G)、BD橫梁(2H)、第三T形梁(2J)和第四T形梁(2K)構(gòu)成；第三T形梁(2J)設(shè)置在BA豎梁(2A)的中心處外側(cè)；第四T形梁(2K)設(shè)置在BD豎梁(2D)的中心處外側(cè)；BA豎梁(2A)、BB豎梁(2B)、BC豎梁(2C)和BD豎梁(2D)沿X軸向平行放置，且BA豎梁(2A)、BB豎梁(2B)、BC豎梁(2C)和BD豎梁(2D)之間有切縫；BB橫梁(2F)、BC橫梁(2G)和BD橫梁(2H)沿Y軸向平行放置，且BB橫梁(2F)用于連接BA豎梁(2A)、BB豎梁(2B)、BC豎梁(2C)和BD豎梁(2D)的上部，BD橫梁(2H)用于連接BA豎梁(2A)、BB豎梁(2B)、BC豎梁(2C)和BD豎梁(2D)的下部，BB豎梁(2B)和BC豎梁(2C)用于連接BB豎梁(2B)與BC豎梁(2C)；

第一正電極(7A)的覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為AA豎梁(1A)、AA橫梁(1E)、AB豎梁(1B)、A固定框(5A)、第二連接臂(9B)、A隔離框(4A)、第一連接臂(9A)和安裝框(3)；

第一負(fù)電極(7B)的覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為AC豎梁(1C)、AA橫梁(1E)、AD豎梁(1D)、A固定框(5A)、第二連接臂(9B)、A隔離框(4A)、第一連接臂(9A)和安裝框(3)；

第二正電極(7C)的覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為BA豎梁(2A)、BA橫梁(2E)、BB豎梁(2B)、B固定框(5B)、第三連接臂(9C)、B隔離框(4B)、第四連接臂(9D)和安裝框(3)；

第二負(fù)電極(7D)的覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為BC豎梁(2C)、BA橫梁(2E)、BD豎梁(2D)、B固定框(5B)、第三連接臂(9C)、B隔離框(4B)、第四連接臂(9D)和安裝框(3)；

第三正電極(8A)的第一支覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為第一T形梁(1J)、AA豎梁(1A)；第三正電極(8A)的第二支覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為第二T形梁(1K)、AD豎梁(1D)；第三正電極(8A)的第三支覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為A固定框(5A)、第二連接臂(9B)、A隔離框(4A)、第一連接臂(9A)和安裝框(3)；且第一支覆銅構(gòu)型與第二支覆銅構(gòu)型在A固定框(5A)匯合后共用第三支覆銅構(gòu)型；

第三負(fù)電極(8B)的第一支覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為第一T形梁(1J)、AA豎梁(1A)、A固定框(5A)、第二連接臂(9B)、A隔離框(4A)、第一連接臂(9A)和安裝框(3)；第三負(fù)電極(8B)的第二支覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為第二T形梁(1K)、AD豎梁(1D)、A固定框(5A)、第二連接臂(9B)、A隔離框(4A)、第一連接臂(9A)和安裝框(3)；且第一支覆銅構(gòu)型與第二支覆銅構(gòu)型在安裝框(3)匯合；

第四正電極(8C)的第一支覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為第三T形梁(2J)、BA豎梁(2A)；第四正電極(8C)的第二支覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為第四T形梁(2K)、BD豎梁(2D)；第四正電極(8C)的第三支覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為B固定框(5B)、第三連接臂(9C)、B隔離框(4B)、第四連接臂(9D)和安裝框(3)；且第一支覆銅構(gòu)型與第二支覆銅構(gòu)型在B固定框(5B)匯合后共用第三支覆銅構(gòu)型；

第四負(fù)電極(8D)的第一支覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為第三T形梁(2J)、BA豎梁(2A)、B固定框(5B)、第三連接臂(9C)、B隔離框(4B)、第四連接臂(9D)和安裝框(3)；第四負(fù)電極(8D)的第二支覆銅構(gòu)型從里向外順次覆銅為第四T形梁(2K)、BD豎梁(2D)、B固定框(5B)、第三連接臂(9C)、B隔離框(4B)、第四連接臂(9D)和安裝框(3)；且第一支覆銅構(gòu)型與第二支覆銅構(gòu)型在安裝框(3)匯合；

在介質(zhì)基板(9)上采用光刻腐蝕出多個切縫得到鏤空構(gòu)型；

在介質(zhì)基板(9)上去除第一切縫(91)后構(gòu)型得到A隔離框(4A)、B隔離框(4B)、第一連接臂(9A)和第四連接臂(9D)，通過第一連接臂(9A)實現(xiàn)A隔離框(4A)與安裝框(3)連接，通過第四連接臂(9D)實現(xiàn)B隔離框(4B)與安裝框(3)連接；

在介質(zhì)基板(9)上去除第二切縫(92)與第四切縫(94)后構(gòu)型得到A固定框(5A)、第二連接臂(9B)、A質(zhì)量塊(6A)和A諧振器(1)，通過第二連接臂(9B)實現(xiàn)A固定框(5A)與A隔離框(4A)連接，A諧振器(1)連接在A固定框(5A)與A質(zhì)量塊(6A)之間，且位于介質(zhì)基板(9)的上層面；

在介質(zhì)基板(9)上去除第三切縫(93)與第五切縫(95)后構(gòu)型得到B固定框(5B)、第三連接臂(9C)、B質(zhì)量塊(6B)和B諧振器(2)，通過第三連接臂(9C)實現(xiàn)B固定框(5B)與B隔離框(4B)連接，B諧振器(2)連接在B固定框(5B)與B質(zhì)量塊(6B)之間，且位于介質(zhì)基板(9)的下層面。