[發明專利]陣列基板、制作方法及液晶顯示面板

無效

• 申請號: 201410239050.5
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN104020593A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 徐向陽
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: G02F1/1333
• 分類號: G02F1/1333;G02F1/1343
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 刁文魁;唐秀萍

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別是涉及一種陣列基板、制作方法及液晶顯示面板。

背景技術

薄膜晶體管液晶顯示面板作為低碳綠色環保型顯示器件，已廣泛應用到人們的生產生活中。隨著顯示技術的發展，產品質量與產品成本成為液晶顯示面板的制造企業的競爭動力。

對于面板廠商而言，為了降低產品的生產成本，一般會盡可能的減少面板中驅動芯片的使用數量，如通過增加走線長度使得每個驅動芯片可以驅動盡可能多的元件，因此在大尺寸液晶顯示面板中，一般會采用雙層金屬走線的設計來降低走線長度過長帶來的線電阻過大的技術問題。

現有的雙層金屬走線的具體結構請參照圖1，圖1為現有的液晶顯示面板的陣列基板的結構示意圖。為了便于說明，圖中的結構的具體尺寸按說明的需要進行了修改。其中圖1中的101為基板，102為第一絕緣層，103為第二絕緣層，104為第一金屬層，105為第二金屬層，106為像素電極層，其中106也可為用于內部連接的電極(如連接第一金屬層104和第二金屬層105等)或用于與外部連接的電極(如與驅動芯片連接等)。

按該陣列基板的各部分的功能將該陣列基板分為五個部分，其中A區為薄膜場效應晶體管，B區為像素電極，C區為跳線區(即實現兩個金屬層的連接)，D區為走線的扇出區域，E區為與驅動芯片連接的連接區域。

D區通過第一金屬層104和第二金屬層105進行走線，可很好的避免走線的線電阻過大的問題。但是由于第二金屬層105一般設置非平面膜上，即第二金屬層105的下方往往不平整，這樣容易導致第二金屬層105的斷裂，從而導致D區的走線無法正常傳輸信號，同時該缺陷在陣列基板的制作過程中難以發現影響，大大影響了液晶顯示面板的顯示品質。

故，有必要提供一種陣列基板、制作方法及液晶顯示面板，以解決現有技術所存在的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種陣列基板、制作方法及液晶顯示面板，以解決現有的陣列基板中作為走線的第二金屬層易斷裂，從而導致相應的液晶顯示面板的顯示品質下降的技術問題。

為解決上述問題，本發明提供的技術方案如下：

本發明實施例提供一種陣列基板，其包括：

基板襯底；

第一金屬層，位于在所述基板襯底上，包括掃描線以及薄膜場效應晶體管的柵極區；

第一絕緣層，部分位于所述第一金屬層上；

半導體層，位于所述第一絕緣層上；

第二金屬層，位于所述半導體層上，包括所述薄膜場效應晶體管的源極區、所述薄膜場效應晶體管的漏極區、數據線以及走線；

透明電極層，包括：

像素電極，用于與所述漏極區連接；以及

加固部，覆蓋在所述走線上；以及

第二絕緣層，位于所述透明電極層以及所述薄膜場效應晶體管上。

在本發明所述的陣列基板中，所述透明電極層還包括：

內部連接電極，用于連接所述第一金屬層和所述第二金屬層。

在本發明所述的陣列基板中，所述透明電極層還包括：

外部連接電極，用于連接所述第一金屬層與所述驅動芯片，以及連接所述第二金屬層與所述驅動芯片。

本發明實施例還提供一種陣列基板的制作方法，其包括：

A、形成分層結構于基板襯底上，所述分層結構為第一金屬層；

B、對所述分層結構進行圖形化處理，以形成掃描線以及薄膜場效應晶體管的柵極區；

C、在所述分層結構上依次形成第一絕緣層、半導體層以及第二金屬層；

D、對所述分層結構進行圖形化處理，以形成所述薄膜場效應晶體管的源極區、所述薄膜場效應晶體管的漏極區、數據線以及走線；

E、在所述分層結構上形成透明電極層；并對所述分層結構進行圖形化處理，以形成像素電極以及覆蓋在所述走線上的所述加固部；以及

F、在所述分層結構上形成第二絕緣層，并對所述分層結構進行圖形化處理，以對透明電極層和所述薄膜場效應晶體管進行覆蓋。

在本發明所述的陣列基板的制作方法中，所述步驟E還包括：

在所述分層結構上形成透明電極層；并對所述分層結構進行圖形化處理，以形成內部連接電極；

其中所述內部連接電極用于連接所述第一金屬層和所述第二金屬層。

在本發明所述的陣列基板的制作方法中，所述步驟E還包括：

在所述分層結構上形成透明電極層；并對所述分層結構進行圖形化處理，以形成外部連接電極；