[發明專利]光刻膠瓶固持裝置

有效

• 申請號: 201410235896.1
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN105276344B
• 公開（公告）日: 2019-02-01
• 發明（設計）人: 楊宏超;金一諾;張懷東;王堅;王暉
• 申請（專利權）人: 盛美半導體設備(上海)有限公司
• 主分類號: H01L21/312
• 分類號: H01L21/312;H01L21/67;F16M11/24
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 張振軍

本發明提供了一種光刻膠瓶固持裝置，包括：底座；大瓶保持架，與所述底座固定連接，該大瓶保持架具有用于支撐大瓶的第一支撐面，該第一支撐面的形狀與該大瓶的側壁形狀適應；小瓶保持架，與所述大瓶保持架的第一支撐面可拆卸地連接，該小瓶保持架具有用于支撐小瓶的第二支撐面以及用于與該第一支撐面接觸的第三支撐面，該第二支撐面的形狀與該小瓶的側壁形狀適應，該第三支撐面的形狀與該第一支撐面的形狀適應，該小瓶的尺寸小于大瓶的尺寸。本發明能夠適用于不同尺寸的光刻膠瓶。

技術領域

本發明涉及一種光刻膠瓶固持裝置，尤其涉及一種便于切換大、小光刻膠瓶的光刻膠瓶固持裝置。

背景技術

光刻膠是半導體工藝中一種常用的液體制劑，通常存儲于光刻膠瓶中。在使用時，光刻膠瓶被固定在光刻膠瓶固持裝置上，由光刻膠瓶固定裝置夾持的吸管伸入光刻膠瓶中，以從光刻膠瓶中抽取光刻膠。

但是，常用的光刻膠瓶通常具有多種不同的尺寸，而現有技術中的光刻膠瓶固持裝置的結構是固定的，其通常僅能與某一種特定尺寸的光刻膠瓶最優地配合使用。當更換不同尺寸的光刻膠瓶時，現有技術中的光刻膠瓶固持裝置并不能起到較優的支撐、固定作用，可能會導致各種問題，例如光刻膠瓶得不到牢固的支撐，吸管無法插入瓶口等。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種光刻膠瓶固持裝置，能夠適用于不同尺寸的光刻膠瓶。

為解決上述技術問題，本發明提供了一種光刻膠瓶固持裝置，包括：

底座；

大瓶保持架，與所述底座固定連接，該大瓶保持架具有用于支撐大瓶的第一支撐面，該第一支撐面的形狀與該大瓶的側壁形狀適應；

小瓶保持架，與所述大瓶保持架的第一支撐面可拆卸地連接，該小瓶保持架具有用于支撐小瓶的第二支撐面以及用于與該第一支撐面接觸的第三支撐面，該第二支撐面的形狀與該小瓶的側壁形狀適應，該第三支撐面的形狀與該第一支撐面的形狀適應，該小瓶的尺寸小于大瓶的尺寸。

根據本發明的一個實施例，該裝置還包括：

吸管固定架，該吸管固定架的位置相對于所述底座固定；

吸管夾持臂，用于夾持吸管，該吸管夾持臂與所述吸管固定架滑動連接以調節該吸管的豎直高度。

根據本發明的一個實施例，該裝置還包括：

微調標尺，固定在所述吸管固定架上；

與所述微調標尺配合使用的刻度指針，固定在所述吸管夾持臂上。

根據本發明的一個實施例，所述吸管夾持臂夾持有瓶蓋，所述吸管插入該瓶蓋內。

根據本發明的一個實施例，該裝置還包括：支撐板，與所述底座固定連接以支撐該大瓶或小瓶的底部，該支撐板與水平面之間具有預設的傾角。

根據本發明的一個實施例，所述第一支撐面與第二支撐面為圓柱面且二者同軸。

與現有技術相比，本發明具有以下優點：

本發明實施例的光刻膠瓶固持裝置具有可拆卸的小瓶保持架，在安裝小瓶保持架時，小瓶保持架的第二支撐面與小瓶的側壁形狀相適應，在拆掉小瓶保持架時，大瓶保持架的第一支撐面與大瓶的側壁形狀相適應，從而能夠適用于具有不同尺寸的大瓶和小瓶。

進一步而言，本發明實施例的光刻膠瓶固持裝置還具有可滑動的吸管夾持臂，該吸管夾持臂可以相對于吸管固定架滑動，以調節吸管的垂直高度，從而能夠使得吸管順利插入不同尺寸的光刻膠瓶內，以適用于多種不同尺寸的光刻膠瓶。

附圖說明

圖1是本發明實施例的光刻膠瓶固持裝置在固持大瓶時的立體結構圖；