[發明專利]拋光盤及其冷卻裝置

有效

• 申請號: 201410235835.5
• 申請日: 2014-05-30
• 公開（公告）號: CN105290956B
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發明（設計）人: 楊貴璞;王堅;王暉
• 申請（專利權）人: 盛美半導體設備(上海)有限公司
• 主分類號: B24B37/11
• 分類號: B24B37/11
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

1.一種拋光盤的冷卻裝置，應用于拋光盤，其特征在于，該冷卻裝置包括：

開設在拋光盤上的冷卻水入口和冷卻水出口；

開設在拋光盤中的環形的回液槽和回液通道，回液通道的一端與回液槽連通，回液通道的另一端與冷卻水出口連通；

開設在拋光盤中的冷卻水溝槽，冷卻水溝槽位于拋光盤中被回液槽包圍的區域，冷卻水溝槽均勻分布且呈樹枝狀，每一冷卻水溝槽包括主溝槽和側溝槽，主溝槽的一端與冷卻水入口連通，主溝槽的另一端與回液槽連通，側溝槽的一端分別與主溝槽連通，側溝槽的另一端分別與回液槽連通，使得拋光盤的圓心至拋光盤的外邊緣的半徑范圍內的中間區域溝槽的分布密度高于拋光盤的其他區域。

2.如權利要求1所述的拋光盤的冷卻裝置，其特征在于，所述側溝槽從主溝槽距離拋光盤中心的四分之一處向主溝槽的側方延伸。

3.如權利要求2所述的拋光盤的冷卻裝置，其特征在于，所述側溝槽為兩個，分別位于主溝槽的兩側。

4.一種拋光盤，所述拋光盤包括上盤和下盤，所述上盤和下盤固定連接，其特征在于，所述下盤具有冷卻裝置，該冷卻裝置包括：

開設在下盤底部的冷卻水入口和冷卻水出口；

開設在下盤的頂表面的環形的回液槽；

開設在下盤內的回液通道，回液通道的一端與回液槽連通，回液通道的另一端與冷卻水出口連通；

開設在下盤的頂表面的冷卻水溝槽，冷卻水溝槽位于下盤的頂表面上被回液槽包圍的區域，冷卻水溝槽均勻分布且呈樹枝狀，每一冷卻水溝槽包括主溝槽和側溝槽，主溝槽的一端與冷卻水入口連通，主溝槽的另一端與回液槽連通，側溝槽的一端分別與主溝槽連通，側溝槽的另一端分別與回液槽連通，使得拋光盤的圓心至拋光盤的外邊緣的半徑范圍內的中間區域溝槽的分布密度高于拋光盤的其他區域。

5.如權利要求4所述的拋光盤，其特征在于，所述側溝槽的數量為兩個，分別從主溝槽距離下盤中心的四分之一處向主溝槽的兩側延伸。

6.如權利要求4所述的拋光盤，其特征在于，所述冷卻水入口位于下盤的中心，冷卻水出口的數量為兩個或兩個以上且對稱分布在冷卻水入口的周圍。

7.如權利要求4所述的拋光盤，其特征在于，還包括旋轉接頭和冷卻水供應裝置；

所述冷卻水供應裝置包括：供水管路、回水管路和盛放冷卻水的蓄水槽，所述蓄水槽分別與供水管路和回水管路連接；

所述冷卻水入口和冷卻水出口分別與旋轉接頭連接，旋轉接頭與冷卻水供應裝置的供水管路和回水管路連接。

8.如權利要求7所述的拋光盤，其特征在于，所述冷卻水供應裝置還包括供應泵，蓄水槽通過供應泵與供水管路連接。

9.如權利要求7所述的拋光盤，其特征在于，所述蓄水槽內設置有液位傳感器，所述液位傳感器檢測到蓄水槽內的冷卻水液位低于預設液位時，向蓄水槽內補充冷卻水。

10.如權利要求7所述的拋光盤，其特征在于，所述蓄水槽內設置有溫度計，所述溫度計檢測到蓄水槽內冷卻水的溫度高于預設溫度時，將蓄水槽內的冷卻水排出蓄水槽，并向蓄水槽內補充低溫冷卻水。