[發(fā)明專利]有機(jī)無(wú)機(jī)混合型晶體管

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410235775.7
• 申請(qǐng)日: 2014-05-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104638015A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-05-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐振航;吳幸怡;葉佳俊;辛哲宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 元太科技工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L29/786
• 分類號(hào): H01L29/786;H01L29/51;H01L29/06
• 代理公司: 北京中譽(yù)威圣知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11279
• 代理人: 王正茂;叢芳

1.一種有機(jī)無(wú)機(jī)混合型晶體管，其特征在于，包含：

可撓性基板；

柵極，其配置在上述可撓性基板上；

有機(jī)柵極介電層，其覆蓋上述柵極以及上述可撓性基板的一部分；

氧化物半導(dǎo)體層，其配置在上述有機(jī)柵極介電層上方，其中在垂直上述可撓性基板的一方向上，該氧化物半導(dǎo)體層與上述柵極重疊；

第一保護(hù)層，其包含無(wú)機(jī)材料，該第一保護(hù)層夾置在上述氧化物半導(dǎo)體層與上述有機(jī)柵極介電層之間，且接觸上述氧化物半導(dǎo)體層及上述有機(jī)柵極介電層；以及

源極及漏極，其分別連接上述氧化物半導(dǎo)體層的不同兩側(cè)。

2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合型晶體管，其特征在于，其中所述第一保護(hù)層為無(wú)機(jī)材料所制成，且包含至少一種材料是選自氧化鋁、氧化硅、氮化硅及上述的組合所組成的群組。

3.如權(quán)利要求2所述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合型晶體管，其特征在于，其中所述第一保護(hù)層的厚度為100埃至1000埃。

4.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合型晶體管，其特征在于，其中所述第一保護(hù)層包含溶膠凝膠玻璃材料。

5.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合型晶體管，其特征在于，其中所述第一保護(hù)層與所述氧化物半導(dǎo)體層具有相同的輪廓。

6.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合型晶體管，其特征在于，其中所述第一保護(hù)層完全覆蓋所述有機(jī)柵極介電層。

7.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合型晶體管，其特征在于，還包含第二保護(hù)層，其接觸且位于所述源極、所述漏極以及所述氧化物半導(dǎo)體層上，其中第二保護(hù)層包含無(wú)機(jī)材料。

8.如權(quán)利要求7所述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合型晶體管，其特征在于，還包含有機(jī)保護(hù)層，其覆蓋所述第二保護(hù)層。

9.如權(quán)利要求7所述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合型晶體管，其特征在于，其中所述第二保護(hù)層包含至少一種材料是選自氧化鋁、氧化硅、氮化硅及上述的組合所組成的群組。

10.如權(quán)利要求7所述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合型晶體管，其特征在于，其中所述第一保護(hù)層及所述第二保護(hù)層包含氧化鋁，且所述第一保護(hù)層及所述第二保護(hù)層各自的厚度為100埃至1000埃。

11.一種有機(jī)無(wú)機(jī)混合型晶體管，其特征在于，包含：

可撓性基板；

源極及漏極，其配置在上述可撓性基板上；

第一保護(hù)層，其接觸且位于上述源極、上述漏極及上述可撓性基板上，其中該第一保護(hù)層具有第一開(kāi)口及第二開(kāi)口分別露出上述源極的一部分以及上述漏極的一部分；

氧化物半導(dǎo)體層，其配置在上述第一保護(hù)層上，且該氧化物半導(dǎo)體層的不同兩側(cè)分別連接上述源極的上述露出部分和上述漏極的上述露出部分；

柵極，其配置在上述氧化物半導(dǎo)體層上方；以及

有機(jī)柵極介電層，其配置在上述柵極與上述氧化物半導(dǎo)體層之間。

12.如權(quán)利要求11所述的有機(jī)無(wú)機(jī)混合型晶體管，還包含第二保護(hù)層，其位于所述有機(jī)柵極介電層與所述氧化物半導(dǎo)體層之間，且覆蓋所述氧化物半導(dǎo)體層。