[發(fā)明專利]機械臂控制裝置、基板輸送裝置、基板處理裝置、機械臂控制方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410234123.1
• 申請日: 2014-05-29
• 公開（公告）號: CN104209945A
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發(fā)明（設計）人: 筱崎弘行
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: B25J9/06
• 分類號: B25J9/06;B25J13/00;H01L21/677
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉;李文嶼

1.一種機械臂控制裝置，對機械臂裝置的動作進行控制，該機械臂具有2個以上的臂部和使該2個以上的臂部分別旋轉(zhuǎn)的2個以上的旋轉(zhuǎn)關節(jié)，其中，所述機械臂控制裝置具備：

控制部，其是為了使所述2個以上的臂部中的、最基端的臂部以外的規(guī)定的臂部的頂端側(cè)大致直線地移動，而對所述2個以上的旋轉(zhuǎn)關節(jié)的旋轉(zhuǎn)進行控制的控制部，且對所述2個以上的旋轉(zhuǎn)關節(jié)的旋轉(zhuǎn)進行控制、使得使所述規(guī)定的臂部的頂端側(cè)按所述大致直線地移動時該頂端側(cè)的動作加速度變?yōu)榕c預先設定的時間推移一致的結(jié)果，

關于所述預先設定的時間推移中的所述動作加速度，在將該動作加速度設為時間的函數(shù)的情況下，按所述時間對該函數(shù)進行微分所得的導函數(shù)相對于所述時間的變化表現(xiàn)出連續(xù)的推移。

2.根據(jù)權利要求1所述的機械臂控制裝置，其中，

作為所述時間的函數(shù)的所述動作加速度A(t)，在將A0設為常數(shù)、將T設為使所述規(guī)定的臂部的頂端側(cè)從起點到終點大致直線地移動時的時間、且設為ω＝2πf、f＝1/T時，滿足

A(t)＝A0·sin(ωt)。

3.根據(jù)權利要求1所述的機械臂控制裝置，其中，

作為所述時間的函數(shù)的所述動作加速度A(t)，在將A0設為常數(shù)、將T設為使所述規(guī)定的臂部的頂端側(cè)從起點到終點大致直線地移動時的時間、且設為ω＝2πf、f＝1/T時，滿足

A(t)＝A0·sin²(ωt)。

4.根據(jù)權利要求1所述的機械臂控制裝置，其中，

所述動作加速度的頻率分量的基本頻率f0設定為，使得該f0和該f0的n倍不與所述機械臂裝置以及所述機械臂裝置的固定部位的共振頻率一致，其中，n為正整數(shù)。

5.一種基板輸送裝置，其中，具備：

用于輸送基板的機械臂裝置；和

權利要求1到4中任一項所述的機械臂控制裝置。

6.一種基板處理裝置，其中，具備權利要求5所述的基板輸送裝置。

7.一種機械臂控制方法，對機械臂裝置的動作進行控制，該機械臂裝置具備2個以上的臂部和使該2個以上的臂部分別旋轉(zhuǎn)的2個以上的旋轉(zhuǎn)關節(jié)，所述機械臂控制方法包括：

對在使所述2個以上的臂部中的最基部的臂部以外的規(guī)定臂部的頂端側(cè)大致直線地移動時的該頂端側(cè)的動作加速度的時間推移進行預先設定，使得在將該動作加速度設為時間的函數(shù)的情況下，按所述時間對該函數(shù)進行微分所得的導函數(shù)相對于所述時間變化表現(xiàn)出連續(xù)的推移；和

對所述2個以上的旋轉(zhuǎn)關節(jié)的旋轉(zhuǎn)進行控制，使得使所述規(guī)定的臂部的頂端側(cè)按所述大致直線地移動時的該頂端側(cè)的動作加速度成為與所述預先設定的時間推移一致的結(jié)果。