[發(fā)明專利]帶除害功能的真空泵

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410234030.9
• 申請日: 2014-05-29
• 公開（公告）號: CN104214101A
• 公開（公告）日: 2014-12-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中澤敏治;杉浦哲郎;川村興太郎;筱原豐司;京谷敬史;石川敬一;柏木誠司;鈴木康彥;荒井秀夫
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社荏原制作所
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C29/12
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 陳偉;金楊

1.一種帶除害功能的真空泵，在真空泵的排氣口附設(shè)有對從真空泵排出的廢氣進(jìn)行處理而使之無害化的除害部，該帶除害功能的真空泵的特征在于，

準(zhǔn)備多個(gè)類型的、廢氣的處理形式以及/或者廢氣的處理量不同的除害部，

根據(jù)從所述真空泵排出的廢氣的氣體量以及氣體種類，從多個(gè)類型的所述除害部中選定1臺或者多臺除害部，

將所選定的所述除害部與所述真空泵的排氣口連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于，

所述真空泵由1臺真空泵構(gòu)成，或者由串聯(lián)以及/或者并聯(lián)連接的多臺真空泵構(gòu)成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于，

所述除害部由1個(gè)除害部構(gòu)成，或者由串聯(lián)以及/或者并聯(lián)連接的多個(gè)除害部構(gòu)成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于，

供給至所述真空泵以及所述除害部的冷卻水以及/或者不活性氣體能夠從通用的公共管網(wǎng)設(shè)備供給。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于，

所述不活性氣體在利用所述除害部中的廢氣無害化處理時(shí)所產(chǎn)生的熱量而被加熱之后，被供給至所述真空泵。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于，

所述通用的公共管網(wǎng)設(shè)備能夠向燃燒式的所述除害部供給燃料以及空氣。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于，

所述通用的公共管網(wǎng)設(shè)備能夠由可移動(dòng)的儲氣瓶供給燃料。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于，

在通過所述除害部對廢氣進(jìn)行了無害化處理之后，將處理后的氣體向位于設(shè)置地的排氣通道直接排出。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于，

在通過所述除害部對廢氣進(jìn)行了無害化處理之后，將處理后的氣體向洗滌塔排出。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的帶除害功能的真空泵，其特征在于，

具有綜合控制所述真空泵和所述除害部的控制部。

11.一種除害部，其特征在于，

具有1臺或者多臺對廢氣進(jìn)行處理而使之無害化的除害部，

還具有對1臺或者多臺所述除害部的整體進(jìn)行控制的控制部，

所述控制部能夠與設(shè)在設(shè)置地的裝置中的控制部收發(fā)信息，并且，能夠向設(shè)置地的監(jiān)視系統(tǒng)輸出1臺或者多臺所述除害部的狀態(tài)信號。