[發(fā)明專利]一種四纖毛仿生MEMS矢量水聲傳感器微結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410232154.3 | 申請日： | 2014-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN104062632B | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張國軍;丑修建;劉俊 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州中盛納米科技有限公司 |
| 主分類號： | G01S5/20 | 分類號： | G01S5/20;B81B3/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇州*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 纖毛 仿生 mems 矢量 傳感器 微結(jié)構(gòu) | ||
1.一種四纖毛仿生MEMS矢量水聲傳感器微結(jié)構(gòu)，其特征在于，
包括采用MEMS微加工技術(shù)加工獲得的正方形框架(5)和架設(shè)于所述正方形框架(5)中央的“井”字形懸梁臂(9)；
所述“井”字形懸梁臂(9)的各段梁由寬段(7)和對稱設(shè)置于所述寬段兩側(cè)的窄段(8)組成，所述各段梁通過位于所述“井”字形懸梁臂(9)交叉點處的正方形連接體(6)連接；
所述窄段(8)上分別設(shè)置有阻值相等的壓敏電阻(10)，所述壓敏電阻(10)共形成兩組惠斯通全橋，所述兩組惠斯通全橋分別測量兩個相互垂直方向上的水生信號；
所述位于“井”字形懸梁臂(9)交叉點處的各個正方形連接體(6)上均固定的設(shè)置有垂直纖毛。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種四纖毛仿生MEMS矢量水聲傳感器微結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述“井”字形懸梁臂(9)以任意點為坐標原點建立坐標系，沿其任意懸臂梁方向作為X方向，與所述X方向的垂直方向作為Y方向，在所述X方向，每個所述垂直纖毛兩側(cè)梁上的四個所述壓敏電阻(10)構(gòu)成一對惠斯通全橋差動電路，其中，每兩個垂直纖毛間的梁上的所述壓敏電阻(10)為共用電阻，總共形成四對惠斯通全橋；在所述Y方向上，所述壓敏電阻(10)的連接方式與所述X方向的所述壓敏電阻(10)的連接方式相同，形成另外四對惠斯通全橋，在XOY平面上共形成兩組惠斯通全橋，分別用于檢測所述X方向和所述Y方向的水聲信號。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種四纖毛仿生MEMS矢量水聲傳感器微結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述垂直纖毛采用與水密度接近的材料制成。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種四纖毛仿生MEMS矢量水聲傳感器微結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述微結(jié)構(gòu)的加工材料為SOI硅圓片。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意項所述一種四纖毛仿生MEMS矢量水聲傳感器微結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述壓敏電阻(10)利用離子注入技術(shù)注入硼離子形成。
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