[發明專利]激光束照射裝置及用該裝置制造有機發光顯示裝置的方法

有效

• 申請號: 201410231251.0
• 申請日: 2014-05-28
• 公開（公告）號: CN104347823B
• 公開（公告）日: 2018-01-12
• 發明（設計）人: 李廷敏;亞歷山大·奧洛溫斯基;埃爾馬·格倫;海德龍·金德;阿諾德·吉勒
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司;弗勞恩霍夫應用研究促進協會
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L27/32;B23K26/064
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司11204
• 代理人: 余朦,劉錚

1.一種激光束照射裝置，包括：

激光源，配置成發射光；

準直器，配置成校準所發射的光；

掃描儀，配置成調整校準后的光以改變其照射方向；

第一透鏡部，配置成聚焦調整后的光以在密封部上照射激光束；

相機，配置成接收穿過所述掃描儀的可視光；

熱感應部，配置成接收穿過所述掃描儀的紅外光；以及

控制部，配置成控制所述激光束的移動方向和強度，

其中所述控制部進一步配置成使所述激光束在執行旋轉運動時沿著第一方向移動，其中所述旋轉運動的路徑包括多個分段，以及

其中所述控制部包括激光驅動器，所述激光驅動器配置成在每個所述分段中改變激光束的強度。

2.根據權利要求1所述的激光束照射裝置，進一步包括：

分色鏡，配置成將來自所述準直器的校準后的光反射至所述掃描儀，并且對具有與激光相同的波長并且入射到所述掃描儀的光進行過濾。

3.根據權利要求1所述的激光束照射裝置，進一步包括：

分色鏡，配置成將所述可視光反射到所述相機上，并且使得所述紅外光穿過并照射到所述熱感應部上。

4.根據權利要求1所述的激光束照射裝置，進一步包括：

照明部，配置成將照明光照射在所述密封部上。

5.根據權利要求1所述的激光束照射裝置，其中，

所述旋轉運動的頻率在50–60Hz范圍內。

6.根據權利要求1所述的激光束照射裝置，其中，

所述控制部進一步配置成將所述激光束的所述旋轉運動控制為使得所述激光束形成在一個旋轉運動周期期間不重疊的軌跡。

7.根據權利要求1所述的激光束照射裝置，其中，

所述掃描儀包括：檢流計反射鏡，配置成使得所述旋轉運動能夠實現；以及

所述控制部配置成控制所述檢流計反射鏡。

8.一種采用激光束照射裝置制造有機發光顯示裝置的方法，所述方法包括：

形成有機發光部；

形成圍繞所述有機發光部的密封部，所述密封部被形成在第一基板或第二基板上；

對準所述第一基板和所述第二基板；以及

照射激光束，以使得所述激光束在執行旋轉運動時沿著所述密封部移動，以及當所述激光束執行所述旋轉運動時改變所述激光束的強度，

其中所述旋轉運動的路徑包括多個分段，所述激光束照射裝置發出的激光束的強度在每個所述分段中被改變。

9.根據權利要求8所述的方法，其中，

所述第一基板和第二基板中的至少一個使得所述激光束穿過。

10.根據權利要求8所述的方法，其中，

所述旋轉運動的頻率在50–60Hz范圍內。

11.根據權利要求8所述的方法，其中，

所述旋轉運動被執行為使得所述激光束形成在一個旋轉運動周期期間不重疊的軌跡。

12.根據權利要求8所述的方法，其中，

通過掃描儀執行所述旋轉運動，所述掃描儀包括配置成改變所述激光束的照射方向的檢流計反射鏡；以及

通過控制部控制所述檢流計反射鏡，所述控制部配置為控制所述檢流計。

13.根據權利要求8所述的方法，其中，

通過所述激光束照射裝置，以小于所述旋轉運動速度的速度執行沿著所述密封部的直線運動。

14.根據權利要求8所述的方法，其中，

當所述激光束執行所述旋轉運動時，以45度間隔控制所述激光束的所述強度。

15.根據權利要求8所述的方法，其中，

以點波束的形式照射所述激光束，以及

通過包括程序以進行控制的控制部控制所述激光束的強度和移動方向。

16.根據權利要求15所述的方法，其中，

所述點波束的直徑小于所述密封部的寬度。

17.根據權利要求8所述的方法，其中，

所述密封部包括熔塊。

18.根據權利要求17所述的方法，其中，

所述熔塊形成閉環以圍繞所述有機發光部。