[發(fā)明專利]激光束照射裝置及用該裝置制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410231251.0
• 申請(qǐng)日: 2014-05-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104347823B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-01-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李廷敏;亞歷山大·奧洛溫斯基;埃爾馬·格倫;海德龍·金德;阿諾德·吉勒
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司;弗勞恩霍夫應(yīng)用研究促進(jìn)協(xié)會(huì)
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56;H01L27/32;B23K26/064
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司11204
• 代理人: 余朦,劉錚

1.一種激光束照射裝置，包括：

激光源，配置成發(fā)射光；

準(zhǔn)直器，配置成校準(zhǔn)所發(fā)射的光；

掃描儀，配置成調(diào)整校準(zhǔn)后的光以改變其照射方向；

第一透鏡部，配置成聚焦調(diào)整后的光以在密封部上照射激光束；

相機(jī)，配置成接收穿過(guò)所述掃描儀的可視光；

熱感應(yīng)部，配置成接收穿過(guò)所述掃描儀的紅外光；以及

控制部，配置成控制所述激光束的移動(dòng)方向和強(qiáng)度，

其中所述控制部進(jìn)一步配置成使所述激光束在執(zhí)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)沿著第一方向移動(dòng)，其中所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的路徑包括多個(gè)分段，以及

其中所述控制部包括激光驅(qū)動(dòng)器，所述激光驅(qū)動(dòng)器配置成在每個(gè)所述分段中改變激光束的強(qiáng)度。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光束照射裝置，進(jìn)一步包括：

分色鏡，配置成將來(lái)自所述準(zhǔn)直器的校準(zhǔn)后的光反射至所述掃描儀，并且對(duì)具有與激光相同的波長(zhǎng)并且入射到所述掃描儀的光進(jìn)行過(guò)濾。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光束照射裝置，進(jìn)一步包括：

分色鏡，配置成將所述可視光反射到所述相機(jī)上，并且使得所述紅外光穿過(guò)并照射到所述熱感應(yīng)部上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光束照射裝置，進(jìn)一步包括：

照明部，配置成將照明光照射在所述密封部上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光束照射裝置，其中，

所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的頻率在50–60Hz范圍內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光束照射裝置，其中，

所述控制部進(jìn)一步配置成將所述激光束的所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)控制為使得所述激光束形成在一個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)周期期間不重疊的軌跡。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光束照射裝置，其中，

所述掃描儀包括：檢流計(jì)反射鏡，配置成使得所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)能夠?qū)崿F(xiàn)；以及

所述控制部配置成控制所述檢流計(jì)反射鏡。

8.一種采用激光束照射裝置制造有機(jī)發(fā)光顯示裝置的方法，所述方法包括：

形成有機(jī)發(fā)光部；

形成圍繞所述有機(jī)發(fā)光部的密封部，所述密封部被形成在第一基板或第二基板上；

對(duì)準(zhǔn)所述第一基板和所述第二基板；以及

照射激光束，以使得所述激光束在執(zhí)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)沿著所述密封部移動(dòng)，以及當(dāng)所述激光束執(zhí)行所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)改變所述激光束的強(qiáng)度，

其中所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的路徑包括多個(gè)分段，所述激光束照射裝置發(fā)出的激光束的強(qiáng)度在每個(gè)所述分段中被改變。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，

所述第一基板和第二基板中的至少一個(gè)使得所述激光束穿過(guò)。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，

所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的頻率在50–60Hz范圍內(nèi)。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，

所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)被執(zhí)行為使得所述激光束形成在一個(gè)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)周期期間不重疊的軌跡。

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，

通過(guò)掃描儀執(zhí)行所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，所述掃描儀包括配置成改變所述激光束的照射方向的檢流計(jì)反射鏡；以及

通過(guò)控制部控制所述檢流計(jì)反射鏡，所述控制部配置為控制所述檢流計(jì)。

13.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，

通過(guò)所述激光束照射裝置，以小于所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)速度的速度執(zhí)行沿著所述密封部的直線運(yùn)動(dòng)。

14.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，

當(dāng)所述激光束執(zhí)行所述旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，以45度間隔控制所述激光束的所述強(qiáng)度。

15.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，

以點(diǎn)波束的形式照射所述激光束，以及

通過(guò)包括程序以進(jìn)行控制的控制部控制所述激光束的強(qiáng)度和移動(dòng)方向。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的方法，其中，

所述點(diǎn)波束的直徑小于所述密封部的寬度。

17.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中，

所述密封部包括熔塊。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中，

所述熔塊形成閉環(huán)以圍繞所述有機(jī)發(fā)光部。