[發(fā)明專利]一種單晶爐的停爐冷卻系統(tǒng)及工藝無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201410230528.8 | 申請日： | 2014-05-28 |
| 公開（公告）號： | CN104005081A | 公開（公告）日： | 2014-08-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 施承啟;張永超;湯波 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海卡姆丹克太陽能科技有限公司;卡姆丹克太陽能(江蘇)有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/00 | 分類號： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31227 | 代理人： | 王一琦 |
| 地址： | 201314 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 單晶爐 冷卻系統(tǒng) 工藝 | ||
1.一種單晶爐的停爐冷卻系統(tǒng)，包括單晶爐、過濾器、真空泵，三者順序連接，其特征在于：單晶爐的排氣口設(shè)置排氣口閥門A，過濾器上設(shè)置放氣閥B，真空泵的入口設(shè)置電磁閥C。
2.如權(quán)利要求1所述的停爐冷卻系統(tǒng)，其特征在于：所述放氣閥B設(shè)置在過濾器的頂部。
3.如權(quán)利要求1所述的停爐冷卻系統(tǒng)，其特征在于：所述排氣口閥門A、放氣閥B均為電磁閥門，所述排氣口閥門A、放氣閥B、電磁閥C與統(tǒng)一的控制系統(tǒng)信號連接，由統(tǒng)一的控制系統(tǒng)自動控制開啟或關(guān)閉。
4.如權(quán)利要求1所述的停爐冷卻系統(tǒng)，其特征在于：所述真空泵為機械泵。
5.一種權(quán)利要求3所述的停爐冷卻系統(tǒng)的停爐工藝，依次包括以下步驟：
單晶爐拉晶結(jié)束后，關(guān)閉排氣口閥門A，氬氣或氮氣繼續(xù)沖入單晶爐；
關(guān)閉真空泵，同時關(guān)閉電磁閥C；
當(dāng)單晶爐內(nèi)壓力接近1個大氣壓時，自動開啟放氣閥B；
當(dāng)單晶爐內(nèi)壓力略大于1個大氣壓時，自動開啟排氣口閥門A，單晶爐通過放氣閥B排氣進(jìn)行冷卻。
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