[發(fā)明專利]一種去除PVD腔體內(nèi)壁生成物的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410229615.1
• 申請(qǐng)日: 2014-05-27
• 公開（公告）號(hào): CN105215009A
• 公開（公告）日: 2016-01-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陸健;王健;夏斯超;李曉良
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫華潤上華科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B9/00
• 分類號(hào): B08B9/00;C23C14/22
• 代理公司: 無錫互維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32236
• 代理人: 龐聰雅

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種去除PVD腔體內(nèi)壁生成物的方法。

背景技術(shù)

在采用物理氣相沉淀(PhysicalVaporDeposition，簡稱PVD)進(jìn)行工藝生產(chǎn)時(shí)，PVD腔體在經(jīng)過長時(shí)間生產(chǎn)后，腔體內(nèi)壁由于種種因素(外漏、高溫、操作錯(cuò)誤等)會(huì)形成一層彩色的生成物，此生成物在腔體制程生產(chǎn)時(shí)形成的等離子體環(huán)境中，會(huì)和等離子體反應(yīng)釋放出反應(yīng)物，在腔體內(nèi)制程氣體的對(duì)流效應(yīng)下，部分掉落于晶圓表面，進(jìn)而影響晶圓的良率。一般地，腔體維護(hù)時(shí)采用通常的清潔方式(如：無塵布沾異丙醇清潔擦拭)無法清除這一生成物，而采用砂紙或百潔布之類的打磨動(dòng)作，可以清除生成物，但是這種方式會(huì)對(duì)腔體內(nèi)壁表面造成物理性損傷，影響腔體條件，進(jìn)而影響產(chǎn)品質(zhì)量。

因此，有必要對(duì)現(xiàn)有技術(shù)做進(jìn)一步的改進(jìn)

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷提供一種去除PVD腔體內(nèi)壁生成物的方法，其不損傷腔體內(nèi)壁、清除效果好，大大提升了產(chǎn)品的良率。

為達(dá)成前述目的，本發(fā)明一種去除PVD腔體內(nèi)壁生成物的方法，其包括：

采用雙氧水與腔體內(nèi)壁生成物進(jìn)行反應(yīng)；

采用去離子水清潔腔體；

干燥腔體；

對(duì)干燥后的腔體進(jìn)行烘烤；

重復(fù)上述步驟。

作為本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，其具體步驟如下：

A、將沾有雙氧水的無塵布覆蓋于所述腔體內(nèi)壁1h—2h，使得雙氧水和腔體內(nèi)壁生成物充分反應(yīng)；

B、使用去離子水對(duì)腔體進(jìn)行清潔；

C、采用氣槍將去離子水清潔后的腔體吹干；

D、蓋上腔體烘烤6h—8h；

E、重復(fù)步驟A-D，直至所述腔體內(nèi)壁的生成物完全清除。

作為本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，在步驟A之后、步驟B之前還包括機(jī)械擦拭步驟。

作為本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，所述機(jī)械擦拭是采用沾有雙氧水的無塵布擦拭腔體內(nèi)壁。

作為本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，所述雙氧水的濃度為30％—40％。

作為本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，所述雙氧水的濃度為35％。

作為本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，步驟A所述雙氧水與腔體內(nèi)壁生成物反應(yīng)的時(shí)間為1h。

作為本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，步驟D中腔體烘烤時(shí)間為6h。

作為本發(fā)明一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例，步驟E中重復(fù)的次數(shù)至少為一次。

有益效果：與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn)：

(1)可達(dá)到完全清除附著物的效果；

(2)不會(huì)對(duì)腔體造成損壞，保持良好的制程條件；

(3)腔體內(nèi)殘余的雙氧水，經(jīng)過高溫烘烤，會(huì)反應(yīng)生成水蒸汽和氧氣，經(jīng)由冷泵抽出腔體，不會(huì)在腔體內(nèi)遺留，對(duì)腔體沒有任何影響；

(4)僅需使用35％濃度雙氧水，成本低、見效快，對(duì)腔體、制程無任何影響，安全、便捷、可靠。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。其中：

圖1是本發(fā)明的去除PVD腔體內(nèi)壁生成物的方法的工藝流程圖。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。

此處所稱的“一個(gè)實(shí)施例”或“實(shí)施例”是指可包含于本發(fā)明至少一個(gè)實(shí)現(xiàn)方式中的特定特征、結(jié)構(gòu)或特性。在本說明書中不同地方出現(xiàn)的“在一個(gè)實(shí)施例中”并非均指同一個(gè)實(shí)施例，也不是單獨(dú)的或選擇性的與其他實(shí)施例互相排斥的實(shí)施例。

本發(fā)明的方法在不損傷腔體內(nèi)壁的情況下，將彩色生成物完全清除，使得腔體恢復(fù)最初的環(huán)境，改善產(chǎn)品制程條件，進(jìn)而提升產(chǎn)品良率。

請(qǐng)參閱圖1，其為本發(fā)明的去除PVD腔體內(nèi)壁生成物的方法的工藝流程圖。本發(fā)明一種去除PVD腔體內(nèi)壁生成物的方法,其包括如下步驟：