[發(fā)明專利]單層電容器裸芯粒分選測(cè)試機(jī)用微調(diào)吸片裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410227455.7
• 申請(qǐng)日: 2014-05-27
• 公開（公告）號(hào): CN104021950A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊剛;于國(guó)輝;楊鋒;陳琛;李臣友
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 秦皇島視聽機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): H01G13/00
• 分類號(hào): H01G13/00
• 代理公司: 秦皇島市維信專利事務(wù)所 13102
• 代理人: 戴輝

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明用于半導(dǎo)體裝備制造行業(yè)，應(yīng)用在通用型單層電容器裸芯粒分選測(cè)試機(jī)上。用于對(duì)通用型單層電容器裸芯粒進(jìn)行吸取，并傳輸至測(cè)試點(diǎn)進(jìn)行測(cè)試。本發(fā)明不僅適通用型單層電容器裸芯粒分選測(cè)試機(jī)上微調(diào)吸片。還可以用于二極管、電阻、電容等裸芯粒芯片吸取，尤其適用于薄脆和易損傷的裸芯粒芯片的拾取和傳送。

背景技術(shù)

通用型單層電容器，在軍事領(lǐng)域和高端民用領(lǐng)域均得到廣泛應(yīng)用，如雷達(dá)、導(dǎo)彈遙控、衛(wèi)星通訊、定位、電視衛(wèi)星接收器、無線局域等系統(tǒng)，其裸芯粒芯片產(chǎn)品尺寸從0.254mm×0.254mm×0.127mm至2.29mm×2.29mm×0.254mm，該電容器裸芯粒芯片具有體積小、薄、脆、鍍金涂層易劃傷等特點(diǎn)，而吸片裝置是分選測(cè)試機(jī)的設(shè)備的重要部件，吸片過程不僅影響通用型單層電容器裸芯粒芯片的測(cè)試結(jié)果，還影響芯片的產(chǎn)品質(zhì)量，引起劃傷、損傷和崩角等質(zhì)量問題。目前，廠家通常采用人工拾取的方式，通過鑷子拾取，在拾取過程中由于工人的熟練程度以及使用的夾持力不同，對(duì)芯片會(huì)照成不同程度的損傷，拾放的力度不同都會(huì)造成芯片的破損，拾放在測(cè)試點(diǎn)時(shí)，相對(duì)測(cè)試頭的位置偏差也會(huì)影響到測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

發(fā)明內(nèi)容

鑒于上述現(xiàn)狀，本發(fā)明提供了一種單層電容器裸芯粒分選測(cè)試機(jī)用微調(diào)吸片裝置，替代了現(xiàn)有手動(dòng)拾取，解決了人工操作所帶來的影響產(chǎn)品質(zhì)量的一系列問題，大大降低了人工勞動(dòng)強(qiáng)度，增加了產(chǎn)品的質(zhì)量的一致性和可靠性，降低工人勞動(dòng)強(qiáng)度和人力。

本發(fā)明的技術(shù)解決方案是：一種單層電容器裸芯粒分選測(cè)試機(jī)用微調(diào)吸片裝置，包括吸頭安裝座滑動(dòng)套，其上兩側(cè)對(duì)稱設(shè)有導(dǎo)向緩沖機(jī)構(gòu)與導(dǎo)向安裝架連接，在所述導(dǎo)向安裝架中部的螺孔上連接微調(diào)機(jī)構(gòu)，該微調(diào)機(jī)構(gòu)與安裝在吸頭安裝座滑動(dòng)套內(nèi)的吸取裝置連接成一體，所述的吸取裝置分別與吸頭安裝座滑動(dòng)套之間設(shè)有限位機(jī)構(gòu)和真空氣源接口。

本發(fā)明中，所涉及的導(dǎo)向緩沖機(jī)構(gòu)，包括固定設(shè)置在吸頭安裝座滑動(dòng)套上的活動(dòng)軸，及其上安裝的彈簧，使活動(dòng)軸一端插入導(dǎo)向安裝架的導(dǎo)向套內(nèi)。當(dāng)導(dǎo)向安裝架受到外力沖擊后，通過彈簧緩解了對(duì)吸頭安裝座滑動(dòng)套的沖擊力。

本發(fā)明中，所涉及的吸取裝置，包括帶有腔體的吸取安裝套，該吸取安裝套一端裝有密封的吸頭，及吸取安裝套的徑向開有吸口與吸頭安裝座滑動(dòng)套上的真空氣源接口連通。

本發(fā)明中，所涉及的限位機(jī)構(gòu)，包括吸取安裝套，及徑向設(shè)有導(dǎo)向限位銷，該導(dǎo)向限位銷的引出端位于吸頭安裝座滑動(dòng)套上開有的限位孔內(nèi)。這樣，通過導(dǎo)向限位銷限制吸取安裝套的起到至終點(diǎn)的位移距離。

本發(fā)明中，所涉及微調(diào)機(jī)構(gòu)，包括微調(diào)主軸，該微調(diào)主軸的兩端分別帶有內(nèi)、外螺紋，其中外螺紋與導(dǎo)向安裝架連接，其內(nèi)螺紋與吸取安裝套上的外螺紋連接。因此，通過液壓或氣壓作用于導(dǎo)向安裝架與吸取安裝套同步位移。

進(jìn)一步地，所涉及微調(diào)機(jī)構(gòu)，包括微調(diào)主軸，該微調(diào)主軸一端帶有外螺紋，該端外螺紋與導(dǎo)向安裝架連接，另一端分別依次安裝有軸承、旋轉(zhuǎn)架、保持架和轉(zhuǎn)套，通過轉(zhuǎn)套上的外螺紋與吸取安裝套上的內(nèi)螺紋連接。

進(jìn)一步地，所述的微調(diào)主軸是一個(gè)實(shí)心軸，或是空心軸，通過空心軸的微調(diào)主軸與氣源連接。這樣，可通過氣壓方式控制微調(diào)主軸帶動(dòng)導(dǎo)向安裝架及吸取安裝套同步位移。

本發(fā)明減少吸片裝置在高速吸取過程中由于慣量過大，造成吸嘴吸取裸芯粒芯片過程中出現(xiàn)過沖和抖動(dòng)對(duì)造成裸芯顆粒吸取過程中劃傷、損傷和崩角等質(zhì)量問題，以及在吸取過程中吸偏芯片，影響分選測(cè)試結(jié)果。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的示意圖；

圖2是圖1剖視圖；

圖3是圖2微調(diào)機(jī)構(gòu)局部剖視圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)描述。