[發明專利]一種調控氮化鉭薄膜電阻阻值的方法在審
| 申請號： | 201410224666.5 | 申請日： | 2014-05-27 |
| 公開（公告）號： | CN103971874A | 公開（公告）日： | 2014-08-06 |
| 發明（設計）人： | 莊彤;楊俊鋒;李杰成;莊嚴 | 申請（專利權）人： | 廣州天極電子科技有限公司 |
| 主分類號： | H01C17/075 | 分類號： | H01C17/075 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 510288 廣東省廣州市海珠區大干*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 調控 氮化 薄膜 電阻 阻值 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種調控氮化鉭薄膜電阻阻值的方法，其特征在于：包括如下步驟：
步驟1：將需要調控的氮化鉭薄膜電阻放置于管式氣氛爐內；
步驟2：將管式氣氛爐的爐口密封好，并連接上真空泵；
步驟3：啟動真空泵對管式氣氛爐進行抽氣，直到管式氣氛爐內的氣體壓強小于或等于1Pa；
步驟4：向管式氣氛爐的爐管內通入純度大于或等于99.99%的氮氣，并使爐管內氣體壓強維持在1.01×105Pa；
步驟5：將氮化鉭薄膜電阻進行熱氮化處理：對管式氣氛爐進行加熱，加熱到爐管內溫度為50℃～600℃，然后進行保溫；
步驟6：保溫結束，停止加熱，關閉氮氣，取出熱氮化處理后的氮化鉭薄膜電阻；
步驟7：對熱氮化處理后的氮化鉭薄膜電阻的氮原子含量和阻值進行測量對比，測得的結果與熱氮化處理前的氮化鉭薄膜電阻的初始值不同，調控成功。
2.如權利要求1所述的一種調控氮化鉭薄膜電阻阻值的方法，其特征在于：所述步驟5中保溫的時間為5分鐘～60分鐘。
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