[發(fā)明專利]一種絨面ZAO透明導(dǎo)電薄膜的制備工藝無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201410222578.1 | 申請(qǐng)日: | 2014-05-26 |
| 公開(公告)號(hào): | CN103996748A | 公開(公告)日: | 2014-08-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 王曉晶 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 王曉晶 |
| 主分類號(hào): | H01L31/18 | 分類號(hào): | H01L31/18;H01B13/00 |
| 代理公司: | 暫無(wú)信息 | 代理人: | 暫無(wú)信息 |
| 地址: | 430073 湖北*** | 國(guó)省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 zao 透明 導(dǎo)電 薄膜 制備 工藝 | ||
1.一種絨面ZAO透明導(dǎo)電薄膜的制備工藝,其特征在于,包括:采用乙酸溶液腐蝕ZAO薄膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的絨面ZAO透明導(dǎo)電薄膜的制備工藝,其特征在于,所述乙酸濃度為1%,刻蝕時(shí)間為10±3s。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對(duì)紅外輻射、光、較短波長(zhǎng)的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過(guò)這樣的輻射進(jìn)行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過(guò)該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個(gè)共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個(gè)或多個(gè)電光源,如場(chǎng)致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的
- 透明導(dǎo)電膜用靶、透明導(dǎo)電材料、透明導(dǎo)電玻璃及透明導(dǎo)電薄膜
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