[發(fā)明專利]一種提高器件抗電離輻射總劑量效應(yīng)的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410220512.9
• 申請日: 2014-05-22
• 公開（公告）號: CN103996673B
• 公開（公告）日: 2017-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭紅霞;陳偉;郭旗;何承發(fā);羅尹虹;文林;王玲;張鳳祁;趙雯;肖堯
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院新疆理化技術(shù)研究所
• 主分類號: H01L23/552
• 分類號: H01L23/552;G21F1/12
• 代理公司: 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司61211
• 代理人: 王少文

1.一種提高器件抗電離輻射總劑量效應(yīng)的方法，其特征在于：包括以下步驟：

1)制作單層結(jié)構(gòu)復(fù)合材料：

選擇不同的金屬粉末添加到含鉛10％的樹脂中固化，其中鉛的含量為樹脂重量的10％，經(jīng)模壓成形為各種復(fù)合材料，所述金屬粉末為Al、Ta或Kovar，其含量范圍為樹脂重量的0.1％-0.8％，

2)制作多層結(jié)構(gòu)復(fù)合材料：

將單層結(jié)構(gòu)復(fù)合材料進行組合，制作成雙層和三明治結(jié)構(gòu)的復(fù)合材料，所述雙層結(jié)構(gòu)的組合為Al/Ta組合，所述三明治結(jié)構(gòu)的組合為Al/Ta/Kovar組合；

3)測量電子束在復(fù)合材料中的透射系數(shù)：

電子加速器產(chǎn)生的電子束穿過雙層和三明治結(jié)構(gòu)的復(fù)合材料后被真空環(huán)境下的法拉第筒所接收，所產(chǎn)生的電流經(jīng)屏蔽線纜后送入束流積分儀，從而得到該復(fù)合材料的測量透射系數(shù)；

4)采用蒙特卡洛粒子輸運方法模擬計算材料的理論透射系數(shù)：

采用蒙特卡洛粒子輸運方法模擬計算，每次計算跟蹤20萬個粒子，采取先電子后光子的模擬原則，對電子及產(chǎn)生的次級光子和次級電子的所有次級過程都進行模擬跟蹤，直到全部粒子跟蹤完畢；

5)根據(jù)模擬計算與試驗測量結(jié)果的比較，反復(fù)修正計算模型，計算出不同能量電子束入射單層結(jié)構(gòu)復(fù)合材料以及雙層和三明治結(jié)構(gòu)復(fù)合材料的電子透射系數(shù)；

6)比較單層結(jié)構(gòu)復(fù)合材料和多層結(jié)構(gòu)復(fù)合材料的電子透射系數(shù)，確定屏蔽效果最好的復(fù)合材料，在器件的相應(yīng)芯片處進行二次封裝，即可提高器件抗電離輻射總劑量效應(yīng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的提高器件抗電離輻射總劑量效應(yīng)的方法，其特征在于：

在步驟1的復(fù)合材料制作過程中，調(diào)整各種金屬粉末的含量以保證各種復(fù)合材料的面密度相同；

在步驟2中，雙層和三明治結(jié)構(gòu)的復(fù)合材料的各層厚度平均分配。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的提高器件抗電離輻射總劑量效應(yīng)的方法，其特征在于：

所述步驟4采用蒙特卡洛粒子輸運方法模擬計算時，具體采取Berger壓縮歷史方法，通過Moliere多次散射理論和Goudmsit-Saudon多次散射理論進行計算。