[發(fā)明專利]一種導(dǎo)電硫化物靶材及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410217491.5
• 申請(qǐng)日: 2014-05-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN105097988B
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-08-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林俊榮;王玉曉;吳國(guó)發(fā);馬康;陳濤;林福榮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 漢能新材料科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L31/18
• 分類號(hào): H01L31/18;C23C14/34;C23C14/06
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種導(dǎo)電硫化物靶材，其特征在于：以二價(jià)陽(yáng)離子硫化物為主成分，其中摻雜有重量百分比為0.1％～10％的三價(jià)陽(yáng)離子硫化物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電硫化物靶材，其特征在于：所述二價(jià)陽(yáng)離子硫化物為硫化鋅、硫化鎘、硫化鈹、硫化鎂、硫化鈣、硫化鍶、硫化鋇中的一種或幾種。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)電硫化物靶材，其特征在于：所述三價(jià)陽(yáng)離子硫化物選自硫化硼、硫化鋁、硫化鎵、硫化銦、硫化鈧、硫化釔、硫化鑭、硫化鈰、硫化釹、硫化銪、硫化釓、硫化鉺或硫化鐿中的一種或幾種。

4.一種如權(quán)利要求1所述導(dǎo)電硫化物靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)粉末填充：按重量比為二價(jià)陽(yáng)離子硫化物∶三價(jià)陽(yáng)離子硫化物＝1∶(0.001～0.1)的比例將兩類原料粉末均勻混合后，填充入模具中；

(2)加壓燒結(jié)：通過(guò)熱壓或熱等靜壓方式進(jìn)行加壓燒結(jié)，脫模后得到靶材粗坯料；

(3)后處理：將所述靶材粗坯料經(jīng)機(jī)械加工，得到靶材成品。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的導(dǎo)電硫化物靶材的制備方法，其特征在于：采用熱壓方式進(jìn)行加壓燒結(jié)，先將所述模具進(jìn)行預(yù)壓，預(yù)壓壓力高于900psi；然后將模具置于真空爐內(nèi)，并將真空爐抽真空至冷態(tài)真空度為10^-2～10^-3mTorr；升溫至600～700℃后，以10～25℃/min的升溫速度加熱到1200～1300℃，升溫過(guò)程中不斷軸向加壓至1200～1700psi，保溫保壓3～12小時(shí)后降溫至400～600℃，停止軸向加壓；最后冷卻至室溫，得到靶材粗坯料。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的導(dǎo)電硫化物靶材的制備方法，其特征在于：采用熱等靜壓方式進(jìn)行加壓燒結(jié)，先將所述模具抽真空至真空度為10^-2～10^-3mTorr并密封；然后將所述模具置于熱等靜壓爐中，在惰性氣氛中升溫至600～700℃后，再以10～25℃/min的升溫速度加熱到1100～1300℃，期間不斷加壓至氣氛壓力為6～10MPa，保溫保壓4～8小時(shí)后降溫至300～400℃，泄壓至1atm；最后冷卻至室溫，得到靶材粗坯料。