[發(fā)明專利]一種用于大尺寸坩堝加熱噴涂的烘箱結(jié)構(gòu)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410216939.1
• 申請(qǐng)日: 2014-05-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103993256A
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱松濤;馮立學(xué);孫海知;趙亮;羅英明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 泗陽(yáng)瑞泰光伏材料有限公司
• 主分類號(hào): C23C4/12
• 分類號(hào): C23C4/12
• 代理公司: 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32204
• 代理人: 劉燕嬌

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種烘箱裝置，具體涉及一種用于大尺寸坩堝加熱可旋轉(zhuǎn)的烘箱結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

晶體硅作為一種能利用太陽(yáng)能發(fā)電的材料，在再生能源緊缺的時(shí)代越來(lái)越被廣泛應(yīng)用，太陽(yáng)能光伏早期都采用單晶硅，但單晶硅成本較高，生產(chǎn)效率低下，故用多晶硅替代，多晶硅其成本低，產(chǎn)能高，衰減低等優(yōu)勢(shì)，具有較高的性價(jià)比和競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，目前來(lái)說(shuō)，太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域，多晶硅鑄錠技術(shù)已經(jīng)發(fā)展成為一種主流技術(shù)。

多晶硅鑄錠爐是通過(guò)電阻加熱，將配比好的多晶硅裝入噴涂有氮化硅涂層的石英坩堝內(nèi)，升溫熔化，再?gòu)牡撞块_(kāi)始冷卻，形成垂直溫度梯度，利用定向凝固的方式得到多晶硅錠。石英坩堝作為硅料熔化的容器，不能有雜志慘進(jìn)，坩堝和硅液直接接觸會(huì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，產(chǎn)生裂錠，故必須在坩堝內(nèi)壁上涂刷高純度的氮化硅涂層，加熱噴涂和滾涂是涂刷坩堝涂層的兩種工藝方法，其中滾涂技術(shù)工藝簡(jiǎn)單，涂層不均勻，時(shí)間長(zhǎng)，氮化硅使用量大，成本高，目前多采用熱噴涂技術(shù)，即在坩堝旋轉(zhuǎn)烘箱上進(jìn)行加熱噴涂氮化硅涂層。

隨著坩堝尺寸的增大，坩堝的質(zhì)量也隨之增加，目前G7坩堝質(zhì)量為160kg-200kg,在加熱旋轉(zhuǎn)烘箱上下坩堝時(shí)因結(jié)構(gòu)及空間局限，需兩人上下搬移坩堝進(jìn)行操作，人工上下搬移坩堝時(shí)容易出現(xiàn)滑落現(xiàn)象，導(dǎo)致坩堝碰撞受損，易產(chǎn)生隱裂，導(dǎo)致鑄錠過(guò)程中發(fā)生硅液溢流現(xiàn)象，影響鑄錠工序的生產(chǎn)安全，降低勞動(dòng)生產(chǎn)效率，提高生產(chǎn)成本。

故，需要一種新的技術(shù)方案以解決上述問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明目的：針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題和不足，本發(fā)明的目的是提供一種用于大尺寸坩堝加熱噴涂的烘箱結(jié)構(gòu)，有效提高坩堝上下搬移的安全系數(shù)。

技術(shù)方案：為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為一種用于大尺寸坩堝加熱噴涂的烘箱裝置，包括支撐底座、加熱裝置和安裝于支撐底座1上的傳動(dòng)裝置，所述傳動(dòng)裝置與加熱裝置相連；所述加熱裝置包括下側(cè)加熱板、左側(cè)加熱板、右側(cè)加熱板和上側(cè)加熱板，四個(gè)側(cè)加熱板兩端均通過(guò)鎖緊裝置與相鄰側(cè)加熱板鎖緊,所述下側(cè)加熱板包括中間固定加熱板和兩端折疊加熱板，所述折疊加熱板通過(guò)鉸鏈與固定加熱板相連，并圍繞固定加熱板進(jìn)行旋轉(zhuǎn)折疊。

作為本發(fā)明進(jìn)一步的優(yōu)化，所述加熱裝置還包括前、后固定底面加熱板。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)化，所述左側(cè)加熱板和右側(cè)加熱板采用手動(dòng)打開(kāi)關(guān)閉結(jié)構(gòu)。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)化，所述上側(cè)加熱板與氣動(dòng)打開(kāi)裝置相連，所述氣動(dòng)打開(kāi)裝置的另一端固定在前固定底面加熱板上。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)化，所述下側(cè)加熱板、左側(cè)加熱板、右側(cè)加熱板、上側(cè)加熱板和前、后固定底面加熱板形成的加熱腔室內(nèi)設(shè)有7個(gè)獨(dú)立測(cè)溫探頭。

作為本發(fā)明的進(jìn)一步優(yōu)化，所述折疊加熱板的旋轉(zhuǎn)折疊角度為0-180°

有益效果：?本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比，其優(yōu)點(diǎn)為：本發(fā)明通過(guò)可折疊下側(cè)加熱板上下搬運(yùn)坩堝，大大提高上下搬運(yùn)坩堝時(shí)的安全系數(shù)，有效防止坩堝碰撞發(fā)生隱裂，同時(shí)降低工人工作量，提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本，本發(fā)明采用七個(gè)獨(dú)立測(cè)溫系統(tǒng)，整個(gè)噴涂過(guò)程中，本發(fā)明所噴涂的坩堝涂層均勻，無(wú)粘鍋現(xiàn)象。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的加熱裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，進(jìn)一步闡明本發(fā)明，應(yīng)理解這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍，在閱讀了本發(fā)明之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員對(duì)本發(fā)明的各種等價(jià)形式的修改均落于本申請(qǐng)所附權(quán)利要求所限定的范圍。

如圖1所示，本發(fā)明用于對(duì)大尺寸坩堝進(jìn)行加熱，包括支撐底座1、加熱裝置2和安裝于支撐底座1上的傳動(dòng)裝置3，傳動(dòng)裝置3與加熱裝置2相連。

如圖2所示，所述加熱裝置2包括前、后固定底面加熱板6、下側(cè)加熱板、左側(cè)加熱板11、右側(cè)加熱板7和上側(cè)加熱板10，下側(cè)加熱板分為三段包括中間固定加熱板8和兩端折疊加熱板9，兩者之間分別用鉸鏈12連接，左側(cè)加熱板11和右側(cè)加熱板7采用手動(dòng)打開(kāi)關(guān)閉結(jié)構(gòu)，上側(cè)加熱板10與氣動(dòng)打開(kāi)裝置4相連，所述四個(gè)側(cè)面加熱板的兩端均設(shè)有鎖緊裝置5，用于旋轉(zhuǎn)烘箱時(shí)保護(hù)坩堝安全。