[發(fā)明專利]用于測試探針卡的轉(zhuǎn)換卡

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410216194.9
• 申請日: 2014-05-21
• 公開（公告）號: CN105092925B
• 公開（公告）日: 2018-04-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 詹定叡
• 申請（專利權(quán)）人: 詹定叡
• 主分類號: G01R15/00
• 分類號: G01R15/00;G01R35/02
• 代理公司: 廈門市新華專利商標代理有限公司35203
• 代理人: 朱凌

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明有關(guān)于一種轉(zhuǎn)換卡，特別是指其為一種用于測試探針卡的轉(zhuǎn)換卡。

背景技術(shù)

長久以來，半導體業(yè)界在晶圓可靠度測試（wafer acceptance test）時，都會先驗證直流探針卡（Probe Card）是否可用，因直流探針卡擔負著最后段測試時，IC在被切割前（WS：Wafer Sort），功能測試是否正常的重要角色，當IC測試能正常工作后，IC即會被切割包裝（FT：Final Test； IC has been packaged） 并再作后續(xù)的分類（BIN）測試，由此可知，當直流探針卡的錯誤率高時，會直接影響后面出貨的速度與質(zhì)量，但直流探針卡隨著IC功能越來越強，腳數(shù)越來越多，甚至高達幾萬根的腳數(shù)，其價格動輒千萬，若直流探針卡被判為錯誤率高，則須再作清針，甚至換卡的動作，這些動作非常耗費成本及時間，晶圓廠及測試廠時常為了趕貨給客戶，經(jīng)常以直接換卡的方式測到正確為止，而這些換下來的直流探針卡的費用則是由晶圓廠及測試廠直接吸收掉，因此直流探針卡的庫存率，常會達到臺幣幾千萬至數(shù)億的等級，造成成本大幅提高。

由于半導體業(yè)界長期借由此直流測試方式來測試直流探針卡，其改善方式已達瓶頸，爰是，本發(fā)明人今基于產(chǎn)品不斷改良創(chuàng)新的理念，乃本著多年從事半導體及與電子相關(guān)的測試產(chǎn)業(yè)產(chǎn)品設(shè)計開發(fā)的實務經(jīng)驗，以及積極潛心研發(fā)思考，而利用交流方式對直流電探針卡的錯誤分析及改善，經(jīng)由無數(shù)次的實際測試、實驗，致有本發(fā)明的產(chǎn)生。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的，在于提供一種借第一傳輸單元傳輸交流信號，并將交流信號經(jīng)由直流/交流轉(zhuǎn)換電路、第二傳輸單元接至直流探針卡，運用交流電路及傳輸線原理，以配合交流信號儀器利用交流方式對直流電探針卡進行錯誤分析測試及改善的用于測試探針卡的轉(zhuǎn)換卡。

為達上述的目的，本發(fā)明的解決方案是：

一種用于測試探針卡的轉(zhuǎn)換卡，包含有：

一板體；

至少一第一傳輸單元，設(shè)于該板體，該第一傳輸單元用以電性連接于測試儀器以傳輸交流信號；

至少一第二傳輸單元，設(shè)于該板體，該第二傳輸單元用以電性連接于探針卡接口；

一直流/交流轉(zhuǎn)換電路，設(shè)于該板體，該直流/交流轉(zhuǎn)換電路電性連接于該第一傳輸單元、該第二傳輸單元。

進一步，該板體具有一穿孔。

進一步，該第一傳輸單元為數(shù)個排列成一區(qū)域的電性連接孔。

進一步，該第二傳輸單元為電性連接孔。

進一步，該板體、該第一傳輸單元、該第二傳輸單元及該直流/交流轉(zhuǎn)換電路一體制成為一印刷電路板（PCB，Printed circuit board）。

進一步，該板體、該第一傳輸單元、該第二傳輸單元及該直流/交流轉(zhuǎn)換電路壓合成一體。

以借第一傳輸單元傳輸交流信號，并將交流信號經(jīng)由直流/交流轉(zhuǎn)換電路、第二傳輸單元、探針卡接口接至直流探針卡，運用交流電路及傳輸線原理，以配合邏輯分析儀、示波器、時域反射儀、頻域網(wǎng)絡分析儀、誤碼產(chǎn)生器、眼圖分析儀等交流信號測試儀器，利用交流方式可對直流電探針卡進行錯誤分析測試及改善，避免誤判探針卡的錯誤率，達到降低換卡率及清針率，降低直流探針卡的庫存率。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的上視圖；

圖2為本發(fā)明的上視局部放大圖；

圖3為本發(fā)明測試實施例的立體分解圖；

圖4為本發(fā)明測試實施例的剖面圖；

圖5為本發(fā)明的構(gòu)造方塊示意圖；

圖6為本發(fā)明配合邏輯分析儀、數(shù)字信號產(chǎn)生器的測試實施例圖；

圖7為圖6的測試結(jié)果圖；

圖8本發(fā)明配合邏輯分析儀、示波器、數(shù)字信號產(chǎn)生器的測試實施例圖；

圖9為圖8的測試結(jié)果圖；

圖10為本發(fā)明配合時域反射儀的測試實施例圖；

圖11為圖10的測試結(jié)果圖；

圖12為本發(fā)明配合頻域網(wǎng)絡分析儀的測試實施例圖；

圖13為圖12的測試結(jié)果圖；

圖14為本發(fā)明配合眼圖分析儀、誤碼產(chǎn)生器的測試實施例圖；

圖15為圖14的測試結(jié)果圖；

圖16為本發(fā)明配合眼圖分析儀與誤碼產(chǎn)生器整合機型的測試實施例圖；

圖17為本發(fā)明的測試程序流程圖。

【符號說明】

用于測試探針卡的轉(zhuǎn)換卡10 板體11

第一傳輸單元12 連接線121

第二傳輸單元13 直流/交流轉(zhuǎn)換電路14