[發明專利]一種適于對具有復雜內腔結構的工件進行涂層的方法

有效

• 申請號: 201410215902.7
• 申請日: 2014-05-21
• 公開（公告）號: CN103993258B
• 公開（公告）日: 2017-01-25
• 發明（設計）人: 邵玲;王廣欣;趙學義
• 申請（專利權）人: 昆山海普電子材料有限公司
• 主分類號: C23C10/28
• 分類號: C23C10/28
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司32103
• 代理人: 孫仿衛,汪青

1.?一種適于對具有復雜內腔結構的工件進行涂層的方法，其特征在于：包括依次進行的如下步驟：

（1）、對所述工件的內外表面進行凈化處理，然后將凈化后的工件和捐獻材料放入反應罐中，所述的捐獻材料為AlCr顆粒或Si粉和AlCr顆粒的混合物；

（2）、將所述的反應罐抽真空至所述的反應罐內的壓力為1~2毫巴；

（3）、對所述的反應罐進行預熱處理，然后向所述的反應罐中充入氫氣和氯化氫氣體至所述的反應罐內的壓力為800~1000毫巴；

（4）、將所述的反應罐加熱至900℃~1100℃，然后保溫1~2小時，在所述工件的表面形成Al滲層或Al-Si共滲層，即所述的涂層。

2.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述工件的基材為純鎳或鎳基合金。

3.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（1）中的凈化處理的具體步驟為：先對所述工件的外表面采用噴砂處理，內表面采用粒子流工藝處理，然后對所述工件的內外表面進行超聲波清洗。

4.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述的AlCr捐獻材料的平均直徑為9~11毫米。

5.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：所述的Si粉和AlCr顆粒按重量比為8~10:1形成所述的混合物。

6.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（3）中，所述的預熱處理的預熱溫度為180℃~220℃。

7.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（3）中，所述的氫氣和氯化氫氣體按體積比為3~5:1充入。

8.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：步驟（3）中，所述的氫氣和氯化氫氣體通過所述反應罐獨立的導氣管充入。

9.?根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于：在所述的步驟（1）后，多次重復進行所述的步驟（2）、步驟（3）、步驟（4），得到所述的NiAl或NiAl（Si）涂層。